具有三层复合结构的P型硅外延片制备工艺研究

对10.16 cm(4英寸)三层复合结构P型硅外延片的制备工艺进行了研究。利用PE-2061S型桶式外延炉,在重掺硼的硅衬底上采用化学气相沉积的方法成功制备P^-/P^+/P/P^+型硅外延层。通过FT-IR(傅里叶变换红外线光谱分析)、C-V(电容-电压测试)、SRP(扩展电阻技术)等测试方法对各层外延的电学参数以及过渡区形貌进行了测试,最终得到结晶质量良好、厚度不均匀性<3%、电阻率不均匀性<3%、各界面过渡区形貌陡峭的P型硅外延片,可以满足器件使用的要求。

三层结构实木复合地板表板发展趋向

介绍了三层结构实木复合地板的特点,并从发展仿古三层结构实木复合地板、速生材压密表板、LVL表板、科技木表板、竹材表板、多树种表板等方面阐述了三层结构实木复合地板表板发展的趋向。

一种新的高成品率InP基T型纳米栅制作方法

提出了一种新的 PMMA/ PMGI/ PMMA三层胶复合结构 ,通过一次对准和电子束曝光、多次显影在 In PPHEMT材料上制作出高成品率的 T型纳米栅 .在曝光显影条件变化 2 0 %的情况下 ,In P HEMT成品率达到 80 %以上 ;跨导变化范围在 5 90～ 6 10 m S/ mm,夹断电压为 - 1.0～ - 1.2 V,器件的栅长分布均匀 .这种新的结构工艺步骤少 ,工艺宽容度大 ,重复性好 。

天然气球罐与管道选材的探讨

对天然气球罐、管道及其防腐层的选材进行了技术经济比较。对3000m3以下的球罐选用国产16MnR钢板,对5000m3及以上的球罐采用进口CF-62高强钢板。球壳结构型式选用4带混合式。对高压次高压燃气管道,若公称直径不大于400mm,采用直缝高频电阻焊(ERW)钢管;否则,采用UOE成型的直缝双面埋弧焊(LSAW)钢管。对中压燃气管道,若公称直径不大于200mm,采用PE管;否则,采用ERW钢管。管道防腐宜采用三层PE复合结构防腐涂层牺牲阳极保护。