不同气压下毛细管放电三束等离子体发光功率

在给定毛细管结构参数和放电条件的情况下,计算了毛细管放电三束等离子体的发光功率,并在毛细管放电三束等离子体极紫外光刻光源演示装置上进行了实测,测量数据与理论值基本相符。结果表明:三束等离子体发光的过程中,由于不同氮气气压下的光谱吸收和光学屏蔽极大削弱了极紫外光的输出能量,导致毛细管放电三束等离子体的发光功率随氮气气压的变化表现出特有的规律;与毛细管放电单束等离子体相比,极大输出对应的最佳气压明显提高。

激光对毛细管放电三束等离子体极紫外耦合光源的作用

极紫外光刻技术(EUVL)利用波长为13.5 nm的极紫外(EUV)光源,可以轻松突破30 nm技术节点而实现大规模工业生产。毛细管放电直接将电能转换成等离子体的极紫外辐射能,具有较高的能量转换效率。毛细管放电三束等离子体极紫外耦合光源利用激光等离子体(LPP)的热膨胀力与三束等离子体所受的洛仑兹力相互作用,耦合出较大面积的极紫外辐射区,从而在满足用光要求的前提下大幅度地降低毛细管放电的重复频率,有利于光刻生产。在实现三对电极同时放电以及放电与激光同步触发的基础上,探讨了激光对耦合光源所起的作用。实验发现位置耦合对极紫外光源的影响很小,激光等离子体引起的动力耦合成为问题的关键,有待于逐步解决。