新型阴极粘贴技术制备三极CNT-FED的研究

利用催化剂高温分解在硅衬底上生长了碳纳米管薄膜阴极;采用丝网印刷工艺、高温烧结工艺以及低熔点玻璃封接技术,制作了三极结构的碳纳米管场致发射显示器器件.采用了新型的阴极粘贴技术来装配碳纳米管阴极,解决了硅片和封装玻璃之间热膨胀系数不一致的技术难题,实现了稳定可靠的整体器件高温封装,同时也避免了其他器件制作工艺对碳纳米管阴极的损伤,增强了阴极装配技术的适用性和灵活性.整体显示器具有良好的场致发射特性以及比较高的显示亮度.