三氯氢硅氢还原法制多晶硅的自控难点及选型

多晶硅项目由于工况特殊、技术不成熟、工程经验不足等原因,在自动控制和现场仪表选型上存在很多问题,装置运行过程中仪表的使用效果和寿命均不尽人意、自动化水平也较低,阐述了该工艺流程中的控制难点及仪表的正确选用,并对还原炉的自动控制提出一些合理的控制方案,从而提高了多晶硅生产的稳定性、减少了副产物、降低了多晶硅生产的能耗,提高了产品质量。

三氯氢硅氢还原法多晶硅生产工艺简介

本文介绍了三氯氢硅氢还原法多晶硅工艺技术的发展历史,重点介绍了第三代西门子法的工艺基本流程和技术原理,简要分析了西门子法多晶硅工艺技术在国内外的运用差异,展望了未来多晶硅工艺技术的发展方向。

电子级多晶硅制备过程中质量影响因素分析

电子级多晶硅是微电子行业、信息产业和新能源产业的基础性材料,目前,全球电子级高纯多晶硅总产能约31000 t,我国高品质多晶硅仍然需要大量进口。电子级多晶硅产品质量控制要求非常严格,目前生产工艺主要有三氯氢硅氢还原法和硅烷热分解法两种,全球90%以上的多晶硅企业采用三氯氢硅氢还原工艺生产,国内也多采用此工艺生产电子级多晶硅。本文针对三氯氢硅氢还原工艺对影响多晶硅质量的因素进行了阐述,包括三氯氢硅、氢气纯度,物料管线纯度,CVD炉材质,备品备件选取,硅棒后处理装置,设备维护保养等,以期为电子级高纯多晶硅的生产和后处理过程提供参考。

大搞综合回收,不断提高多晶硅生产技术水平——洛阳单晶硅厂多晶硅生产变迁及其探讨之一

一、前言洛阳单晶砖厂是1966年从日本窒素公司引进的成套硅材料生产厂,当时建厂规模是多晶硅3吨/年及相应的硅单晶和硅片加工装备能力。多晶硅生产是采用西门子法,即将沸腾氯化法生产的三氯氢硅,经二个塔连续粗馏后,再经二个塔连续精馏,所得三氯氢硅精馏液和高纯氢气中的主路氢,分别进入与每台还原炉匹配的混合器。