表面等离子共振Ag/TiO_2复合膜气体传感器

提出一种新型的Ag/TiO2复合膜三甲胺(TMA)气敏光化学表面等离子共振(SPR)传感器结构。结构中使用一只金红石材料作成的棱镜作为耦合棱镜,在棱镜的底边采用射频溅射技术制作Ag/TiO2复合膜,Ag膜和TiO2膜的厚度分别为50 nm和100 nm,在复合膜上设置待测气体的样品池。在He-Ne光入射激励下,复合膜的分界面发生SPR现象。实验结果表明:SPR角与TMA气体的体积分数基本呈线性比例关系。