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三级差分抽气分子束质谱装置的设计和研究
被引量:
7
1
作者
丁洪斌
刘佳宏
+1 位作者
宋志民
杨学锋
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1999年第2期128-133,共6页
研制了具有三级涡轮分子泵差分抽气系统的分子束质谱装置 ,该装置在 1330 0Pa典型气体采样压力下 ,三级差分抽气区的压力分别达到 5× 10 - 1,3× 10 - 3,1 2× 10 - 4Pa。利用该装置 ,已成功地实现了对活性离子物种N+ 和N...
研制了具有三级涡轮分子泵差分抽气系统的分子束质谱装置 ,该装置在 1330 0Pa典型气体采样压力下 ,三级差分抽气区的压力分别达到 5× 10 - 1,3× 10 - 3,1 2× 10 - 4Pa。利用该装置 ,已成功地实现了对活性离子物种N+ 和N+ 2 的“原位”
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关键词
原位取样
离子检测
分子束质谱
三级差分抽气
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职称材料
题名
三级差分抽气分子束质谱装置的设计和研究
被引量:
7
1
作者
丁洪斌
刘佳宏
宋志民
杨学锋
机构
大连理工大学等离子体物理化学实验室
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1999年第2期128-133,共6页
基金
国家自然科学基金!(编号 1 95 75 0 0 7)
大连理工大学重点学科发展基金
文摘
研制了具有三级涡轮分子泵差分抽气系统的分子束质谱装置 ,该装置在 1330 0Pa典型气体采样压力下 ,三级差分抽气区的压力分别达到 5× 10 - 1,3× 10 - 3,1 2× 10 - 4Pa。利用该装置 ,已成功地实现了对活性离子物种N+ 和N+ 2 的“原位”
关键词
原位取样
离子检测
分子束质谱
三级差分抽气
Keywords
In situ sampling,Ion detection,Molecular beam mass spectrometry
分类号
TB773 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
三级差分抽气分子束质谱装置的设计和研究
丁洪斌
刘佳宏
宋志民
杨学锋
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1999
7
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职称材料
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