微型零件三维几何尺寸测量系统

介绍用于纳米技术中的微型零件三维几何尺寸测量系统的原理，测量中的关键技术，对该系统进行了实测，实验结果表明：ｘ，ｙ重复测量精度为±０．００５μｍ，ｚ方向测量精度为５ｎｍ。