三维复杂微器件的微立体光刻成形

介绍了一种具有更高加工分辨率且可直接成形三维复杂微型器件的一次曝光型微立体光刻成形装置。重点给出了经薄膜晶体管阵列编址的液晶显示光阀表盘 ,即可控透光模板的构造、性能及其对微立体光刻成形装置层面加工分辨率和截面曝光尺寸的影响。为证明微立体光刻工艺在成形三维复杂微结构时的优越性 ,给出了所加工出的微机械部件、微型件浇铸模、微流体系统部件等实物的扫描电子显微照片及相关的加工参数。

双光子三维微细加工技术及实验系统的开发

介绍了一种新型的三维微细加工技术 ,描述了自行开发的双光子微细加工实验系统。双光子三维微细加工技术利用材料与飞秒激光束在焦点局域发生的双光子激发 ,通过逐点扫描 ,实现微器件的三维成型。由于材料发生双光子激发的几率与激发光强的平方成正比 ,所以具有极高瞬时光强的飞秒激光器和可以对光束进行强聚焦的显微镜装置成为系统的关键部件 ,对此进行了详细的说明。最后 ,给出了部分利用上述加工系统所获得的初步实验结果。

用于氨氮检测的三维微纳氨气传感芯片及系统研究

该文设计并制备了一种多层微结构的安培型氨气三维微纳传感芯片,并构建了以此微传感芯片为敏感单元的氨氮检测系统,探索了使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法。该微传感芯片采用微纳加工工艺制备,使用聚合物键合工艺在较低温度下实现了微传感器多层结构的封装。使用纳米铱作为传感器的敏感材料,其具有良好的电催化氧化能力,可使传感器具有较高的灵敏度。对Ag/AgCl微参比电极的稳定性进行了考察。使用自行设计的氨氮检测系统对氨氮样品进行检测,对微传感器的时间响应特性、浓度响应特性、重复性及选择性进行了测试和分析。实验结果表明,在0.5~10 mg/L的测试范围内,检测电流与氨氮浓度保持良好的线性,灵敏度为1.62μA/（mg/L）,线性相关系数为0.995,重复性偏差为5.73%。同时,传感器显示出良好的选择性。

飞秒激光双光子复杂结构的微细加工

阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点。利用自行研制的飞秒双光子微细加工系统,在优化工艺参数的基础上,加工出一系列三维微结构,并实现了可动的三维微系统—齿轮轴系统的一次成型。

基于原子力显微镜的三维表面多参数检测技术

三维微纳电子器件因其结构紧凑、功能密度高等特点,逐渐成为主流的半导体元件形式,实现三维微纳表面多参数量化分析是控制三维器件功能质量的关键.原子力显微镜具备高分辨率力反馈成像能力,是实现微纳表面形貌、电学和力学特性同步检测的重要工具.本文综述了基于原子力显微镜的三维表面多参数检测技术,首先介绍了原子力显微镜微纳表面形貌、电势和力学特性检测原理;随后归纳了近年来基于原子力显微镜的三维表面形貌测量方法,讨论了各类三维表面形貌检测技术的优缺点,并总结了当下已开发的三维表面电势表征方法和三维表面纳米力学特性表征方法,分析了三维表面电学与力学特性测量的必要性.最后,对三维表面多参数检测技术的发展方向及其所面临的挑战进行了展望和简要概括.本文所概述的原子力显微镜三维表面多参数检测方法将为推动三维微纳电子器件功能机理问题研究提供强大的技术支持.

LIGA技术进展

ＬＩＧＡ技术进展陈迪（上海交通大学信息存储研究中心）ＬＩＧＡ是德文Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｉｅ，Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ和Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ三个词的缩写，是由Ｘ光深度光刻、微电铸和微塑铸三个工艺组成的制造三维微器件的先进制造技术。８０年代初由德国卡尔斯...

Using 3D TCAD Simulation to Study Charge Collection of a p-n Junction in a 0.18μm Bulk Process

Single event transient of a real p-n junction in a 0.18μm bulk process is studied by 3D TCAD simulation. The impact of voltage, temperature, substrate concentration, and LET on SET is studied. Our simulation results demonstrate that biases in the range 1.62 to 1.98V influence DSET current shape greatly and total collected charge weakly. Peak current and charge collection within 2ns decreases as temperature increases,and temperature has a stronger influence on SET currents than on total charge. Typical variation of substrate concentration in modern VDSM processes has a negligible effect on SEEs. Both peak current and total collection charge increases as LET increases.

3D optical vortices generated by micro-optical elements and its novel applications

In this paper we report on recent development in the areas of optical vortices generated by micro-optical elements and applications of optical vortices, including optical manipulation, radial polarization and secure free space optical communication