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用于氨氮检测的三维微纳氨气传感芯片及系统研究
被引量:
1
1
作者
卞贺明
边超
+4 位作者
佟建华
孙楫舟
张虹
韩泾鸿
夏善红
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2012年第5期1257-1262,共6页
该文设计并制备了一种多层微结构的安培型氨气三维微纳传感芯片,并构建了以此微传感芯片为敏感单元的氨氮检测系统,探索了使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法。该微传感芯片采用微纳加工工艺制备,使用聚合物键合工艺在较低温度下实...
该文设计并制备了一种多层微结构的安培型氨气三维微纳传感芯片,并构建了以此微传感芯片为敏感单元的氨氮检测系统,探索了使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法。该微传感芯片采用微纳加工工艺制备,使用聚合物键合工艺在较低温度下实现了微传感器多层结构的封装。使用纳米铱作为传感器的敏感材料,其具有良好的电催化氧化能力,可使传感器具有较高的灵敏度。对Ag/AgCl微参比电极的稳定性进行了考察。使用自行设计的氨氮检测系统对氨氮样品进行检测,对微传感器的时间响应特性、浓度响应特性、重复性及选择性进行了测试和分析。实验结果表明,在0.5~10 mg/L的测试范围内,检测电流与氨氮浓度保持良好的线性,灵敏度为1.62μA/(mg/L),线性相关系数为0.995,重复性偏差为5.73%。同时,传感器显示出良好的选择性。
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关键词
微
型电化学氨气传感器
三维微纳器件
水质监测
氨氮
下载PDF
职称材料
题名
用于氨氮检测的三维微纳氨气传感芯片及系统研究
被引量:
1
1
作者
卞贺明
边超
佟建华
孙楫舟
张虹
韩泾鸿
夏善红
机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2012年第5期1257-1262,共6页
基金
国家973计划项目(2009CB320300)
国家自然科学基金(60971070
61072023)资助课题
文摘
该文设计并制备了一种多层微结构的安培型氨气三维微纳传感芯片,并构建了以此微传感芯片为敏感单元的氨氮检测系统,探索了使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法。该微传感芯片采用微纳加工工艺制备,使用聚合物键合工艺在较低温度下实现了微传感器多层结构的封装。使用纳米铱作为传感器的敏感材料,其具有良好的电催化氧化能力,可使传感器具有较高的灵敏度。对Ag/AgCl微参比电极的稳定性进行了考察。使用自行设计的氨氮检测系统对氨氮样品进行检测,对微传感器的时间响应特性、浓度响应特性、重复性及选择性进行了测试和分析。实验结果表明,在0.5~10 mg/L的测试范围内,检测电流与氨氮浓度保持良好的线性,灵敏度为1.62μA/(mg/L),线性相关系数为0.995,重复性偏差为5.73%。同时,传感器显示出良好的选择性。
关键词
微
型电化学氨气传感器
三维微纳器件
水质监测
氨氮
Keywords
Miniaturized electrochemical ammonia sensor
3D micro/nano device
Water quality monitoring
Ammonia nitrogen
分类号
TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于氨氮检测的三维微纳氨气传感芯片及系统研究
卞贺明
边超
佟建华
孙楫舟
张虹
韩泾鸿
夏善红
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2012
1
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职称材料
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