薄膜热电偶温度传感器动态标定的仿真研究

薄膜热电偶温度传感器的动态标定,即测量激励信号的响应过程,得到动态特性指标。由于动态标定中激励源参数的选取多以实验测量为主,缺乏理论基础,存在着较大的测量误差。针对上述问题,首先以薄膜热电偶动态标定常用的脉冲激光法作为切入点,分析激光与热电偶的作用过程和传热机理;然后采用有限元方法建立三维瞬态传热模型,得到不同激励条件下薄膜热电偶的动态特性指标;最终形成了一种科学、可行的激光参数选取方法,对薄膜热电偶温度传感器动态标定的研究为动态温度准确测量提供了依据。