微机械制造中的三维立体光刻加工技术

文章介绍了微机械和微机电系统制造的一种重要方法%D三维立体光刻技术方法的基本原理、加工技术及其应用。同时还介绍了立体光刻技术结合抗腐蚀层、牺牲层工艺加工微器件的原理、方法和应用。

微加速度传感器的新进展

本文介绍了微加速度传感器的最新发展,单向微硅加速度传感器,三维集成微加速度传感器系统,微型集成惯性测量平台系统等。还介绍了最新的微加速度传感器和集成微加速度传感器的制造工艺技术。