三维精密定位工作台的控制系统的研究

对三维精密工作台快速定位系统的控制原理及结构组成进行了研究,并对系统进行理论和实验分析。为了实现高精度的快速定位,系统采用了独立伺服控制技术以及变结构的PID自适应控制算法,达到了满意的定位精度。