金刚石MEMS三维谐振器的设计与加工

微谐振器和陀螺仪因微机电系统(MEMS)水平的不断提升而被广泛关注和学习。采用MEMS设计和制造的微型传感器,因成本低、微尺寸和低耗能等特征而被广泛应用工程领域,在导航、消费电子等航空航天及相关高尖端领域具有广阔的发展前景。谐振器是组成陀螺仪重要组成部分,其相关性能的优良将会直接影响陀螺仪的操作精度。本文主要依据金刚石对MEMS三维谐振器的设计与加工,使所设计的三维谐振器具有良好的操作精度。

三维抗偏转磁耦合谐振式无线电能传输谐振器特性研究

建立了一维和三维磁耦合谐振式无线电能传输系统的传输特性与谐振器参数之间的关系。可以根据不同的实际需求,通过仿真分析,实现一维、三维谐振器线圈的半径和匝数等参数定量化的设计,同时分析了一维、三维系统传输特性与偏转角度和偏移距离的关系。最后通过仿真分析和实验验证了该三维谐振器在相同偏转角度条件下,与一维谐振器相比,可以实现大功率、全角度的能量传输,且具有较强的抗偏转能力和多姿态接收能力。

小型化三维发夹型LTCC宽带带通滤波器

利用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺,通过通孔互联实现了三维结构的发夹型宽带带通滤波器。该结构将谐振单元的横向尺寸转移到z轴方向实现,有效减小了滤波器的尺寸并且谐振器间的耦合系数为传统结构的1.6倍。利用五个谐振器结构实现较宽的频带(>30%)和较好的选择特性。设计并实际制作了中心频率10 GHz的LTCC带通滤波器,3 dB带宽为8.8～12.1 GHz,实测指标与设计仿真结果较为吻合。