三重扩散工艺的改进

扩散技术在工业制作的各个方面有重大的作用,在电子技术上的应用以晶体管最为显著。本文就简要介绍如何应用三重扩散工艺生产大功率晶体管,并对目前生产工艺中的一些不足之处进行改进,以更好的提高大功率晶体管的质量。