扩散/氧化工艺控制管理系统的研制

本文给出一种半导体扩散/氧化生产工艺控制管理系统。系统由下位工艺控制单元和上位管理计算机组成。下位工艺控制单元实现扩散/氧化工艺要求的温度、气体流量控制及推拉舟位置控制。上位管理计算机实现扩散/氧化工艺管理、分析、与下位工艺控制单元互传信息。

成品油火车自动装车系统设计

基于目前火车大鹤管装车技术,阐述了最新的全自动、全密封的大鹤管装车系统设计,并经生产实践证明该系统具有可靠性高、稳定性高以及装车精度高等特性,对于其他火车大鹤管装车系统具有借鉴和推广作用。

火车自动装车系统设计

基于目前火车大鹤管装车技术，阐述了最新的全自动、全密封的大鹤管装车系统设计，并经生产实践证明该系统具有可靠性高、稳定性高以及装车精度高等特性，对于其他火车大鹤管装车系统具有借鉴和推广作用。