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集成电路用超高纯铝铸造生产实践研究
1
作者
仝连海
杨剑
钟伟攀
《世界有色金属》
2024年第3期4-7,共4页
超高纯铝铸锭是溅射靶材的上游关键材料,本课题根据生产实践中的对比试验,探究不同原料配比对超高纯铝铸锭的不纯物、颗粒物、内部质量的影响,旨在为生产高品质集成电路用超高纯铝铸锭提供参考。生产实践结果表明,重熔料表面进行清理是...
超高纯铝铸锭是溅射靶材的上游关键材料,本课题根据生产实践中的对比试验,探究不同原料配比对超高纯铝铸锭的不纯物、颗粒物、内部质量的影响,旨在为生产高品质集成电路用超高纯铝铸锭提供参考。生产实践结果表明,重熔料表面进行清理是必要步骤,随着重熔料在原料中占比升高,铝中颗粒物夹杂数量和尺寸有升高和长大的趋势,在生产实践中重熔料在原料中的占比应该控制在30%以下。
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关键词
超高纯铝
铸造
不纯物检测
颗粒
物
夹杂
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职称材料
题名
集成电路用超高纯铝铸造生产实践研究
1
作者
仝连海
杨剑
钟伟攀
机构
上海同创普润新材料有限公司
宁波同创普润新材料有限公司
同创普润(上海)机电高科技有限公司
出处
《世界有色金属》
2024年第3期4-7,共4页
基金
宁波市重点研发计划项目(2023Z095)
企业项目(005.RD2024-01)。
文摘
超高纯铝铸锭是溅射靶材的上游关键材料,本课题根据生产实践中的对比试验,探究不同原料配比对超高纯铝铸锭的不纯物、颗粒物、内部质量的影响,旨在为生产高品质集成电路用超高纯铝铸锭提供参考。生产实践结果表明,重熔料表面进行清理是必要步骤,随着重熔料在原料中占比升高,铝中颗粒物夹杂数量和尺寸有升高和长大的趋势,在生产实践中重熔料在原料中的占比应该控制在30%以下。
关键词
超高纯铝
铸造
不纯物检测
颗粒
物
夹杂
Keywords
Ultra-high purity aluminum
Casting
Impurity detection
Particulate inclusion
分类号
TF821 [冶金工程—有色金属冶金]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
集成电路用超高纯铝铸造生产实践研究
仝连海
杨剑
钟伟攀
《世界有色金属》
2024
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