一种多电源域专用数字电路的静电失效分析及提升研究

在静电放电(ESD)能力考核时,一种多电源域专用数字电路在人体模型(HBM)1 700 V时失效。通过HBM测试、激光束电阻异常侦测(OBIRCH)失效分析方法,定位出静电试验后失效位置。根据失效分析结果并结合理论分析,失效是静电二极管的反向静电能力弱所致。利用晶体管替换静电二极管,并对OUT2端口的内部进行静电版图优化设计。改版后,该电路的ESD防护能力达2 500 V以上。该项研究结果对于多电源域专用数字电路的ESD失效分析及能力提升具有参考价值。