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题名基于迭代优化的两帧随机相移干涉术
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作者
刘畅
杜虎兵
冯雷洁
严兴旭
张高鹏
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机构
西安工业大学机电工程学院
中国科学院西安光学精密机械研究所
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第2期21-30,共10页
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基金
国家自然科学基金(No.51975448)
陕西省重点研发计划(No.2021GY-274)
中国科学院青年创新促进会会员项目(No.2022410)。
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文摘
提出了一种由粗及精的无需预滤波的两帧先进迭代随机相移技术。基于最小化残差背景,首先利用采集条纹图的相关运算,在近似正交条件下估计相移和相位;然后利用这些求解过程中的中间参数在空域由条纹图数据估计相移和背景;最后,迭代上述过程直至收敛到预定义的精度,从而实现相位的精确求解。针对条纹图空域背景和振幅变化问题,利用条纹图子图降低背景空域变化对背景和相移估计的影响,并减小运算量。与现有的方法相比,本文方法由于提供了正确的初值,具有收敛快、计算快的特点。本文方法简单可靠,是一种实用的两帧相移干涉方法。
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关键词
迭代相移算法
两帧相移技术
随机相移
干涉
相位
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Keywords
Least squares iterative phase-shifting algorithm
Two-frame phase shifting interferometry
Random phase shifting
Interferometry
Phase
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
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