PDMS薄膜阀压电泵设计及实验研究

文章设计、制作了PDMS薄膜阀压电泵,给出了由PMMA和PDMS构成的压电泵的基本结构,比较了悬臂梁和两端固支两种结构PDMS薄膜单向阀的压电泵性能,得出结论:在中低频下,悬臂梁结构阀压电泵输出流量大,在560 V,530 Hz下,悬臂梁结构阀压电泵最大输出流量为273.42 ml/min;相同条件下,两端固支阀压电泵最大输出流量为212.76 ml/min。两端固支阀具有优良的高频特性,在268.8 V,1110Hz下,悬臂梁阀压电泵的最大输出流量为135.57ml/min;相同条件下两端固支阀压电泵最大流量为227.08 ml/min。