光刻伺服盘两级定位器测试系统研究

本文从理论上对圆光栅的特性进行了分析及计算,设计出了光刻伺服磁盘两级定位系统位置传感器的执行机构,并采用AMS—200A型人射光干涉显微镜构成磁盘两级定位器定位精度测量系统,通过计算磁头在寻道和定道两个过程的驱动指令运行时间的总和来得到磁盘的平均找道时间,最后通过实验得到磁盘两级定位系统在平均找道时间为24.5ms时的定位精度为0.19μm。