超大幅面全固态Nd:YAG激光标刻机的研制

研制了一台超大幅面全固态激光标刻机,该系统主要由光纤耦合输出的全固态激光器、两轴联动工作台和控制系统等组成,详细介绍了两轴联动工作台的设计及其控制系统。通过高精度机械传动部件实现激光束与工件的相对运动,由传能光纤输出的高能量激光对工件进行标刻,不仅可以实现大范围、高精度标刻,而且输出激光稳定、能量转换效率较高,能够实现高质量的标刻。