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严格耦合波方法计算立体正弦光栅衍射效率
被引量:
1
1
作者
陈刚
孙可
刘浩
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期22-24,共3页
为了研究振幅型光栅的衍射效率,运用严格耦合波方法建立立体正弦透射光栅的计算模型。用Matlab软件编程计算衍射效率,并模拟了光栅层附近区域内的光场振幅和相位分布。计算结果表明模型衍射效率与平面的正弦型光栅有差别,其与周期,光栅...
为了研究振幅型光栅的衍射效率,运用严格耦合波方法建立立体正弦透射光栅的计算模型。用Matlab软件编程计算衍射效率,并模拟了光栅层附近区域内的光场振幅和相位分布。计算结果表明模型衍射效率与平面的正弦型光栅有差别,其与周期,光栅厚度相关;在一定条件下两者非常接近。
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关键词
正弦光栅
衍射效率
严格耦合波方法
计算
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职称材料
利用严格耦合波方法研究多层介质膜光栅掩膜特性
被引量:
5
2
作者
万华
陈新荣
吴建宏
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第9期1275-1280,共6页
从理论和实验上研究了多层介质膜光栅掩膜特性,用严格耦合波(RCW)法对由光栅掩膜槽形和多层膜介质基底引起的衍射效率的变化进行了理论分析,计算得出不同形貌下的光栅掩膜的反射0级光谱衍射效率分布。在实验检测方法上,采用了0级反射光...
从理论和实验上研究了多层介质膜光栅掩膜特性,用严格耦合波(RCW)法对由光栅掩膜槽形和多层膜介质基底引起的衍射效率的变化进行了理论分析,计算得出不同形貌下的光栅掩膜的反射0级光谱衍射效率分布。在实验检测方法上,采用了0级反射光衍射效率分布来进行槽形判断,并将实验结果和理论计算进行了对比。结果证明使用该方法研究光栅掩膜形貌在一定程度上是有效的。
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关键词
衍射与光栅
光栅掩膜检测
严格耦合波方法
多层介质膜
原文传递
光栅衍射特性的耦合波分析、计算与讨论
被引量:
7
3
作者
蔡托
桑田
赵华
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期141-146,共6页
本文从麦克斯韦方程组及电磁场边界条件出发,推导了广泛应用于各类光栅衍射问题的矢量分析方法——严格的耦合波分析方法。针对光栅的衍射特性,编写了基于严格的耦合波分析方法的计算程序,并以TE模情形为例对光栅的衍射效率和收敛性作...
本文从麦克斯韦方程组及电磁场边界条件出发,推导了广泛应用于各类光栅衍射问题的矢量分析方法——严格的耦合波分析方法。针对光栅的衍射特性,编写了基于严格的耦合波分析方法的计算程序,并以TE模情形为例对光栅的衍射效率和收敛性作了数值计算。结果表明,当谐波数不断增加,即便对于厚光栅(d/λ>10)情形,光栅的衍射效率仍将收敛于某一确定值。
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关键词
衍射光栅
严格
的
耦合
波
分析
方法
衍射效率
收敛性
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职称材料
工作波长为1050 nm高透亚波长光栅的设计
被引量:
1
4
作者
胡华奎
郑衍畅
+1 位作者
王铭
王海
《新乡学院学报》
2020年第3期13-17,共5页
高透射性的亚波长光栅可扩大微机电可调谐垂直腔面发射激光器的波长调谐范围,而使波长调谐范围达到最优,就需要亚波长光栅的透射率最大,这需要优化光栅参数。利用严格耦合波方法,结合遗传算法,设计了一种1050 nm波长亚波长光栅结构。计...
高透射性的亚波长光栅可扩大微机电可调谐垂直腔面发射激光器的波长调谐范围,而使波长调谐范围达到最优,就需要亚波长光栅的透射率最大,这需要优化光栅参数。利用严格耦合波方法,结合遗传算法,设计了一种1050 nm波长亚波长光栅结构。计算分析得出:对于TE偏振,在光栅周期为204 nm、占宽比为0.19、槽深为142 nm的结构参数下,透射率可高达99.99%;对于TM偏振,在周期为169 nm、占宽比为0.72、槽深为138 nm的结构参数下,透射率可高达99.99%。通过分析结构参数对光栅透射率的影响,证明该光栅结构对周期、占宽比、槽深具有优良的工艺容差。该设计方法的运用简单快速,能够避免陷入局部最优,且具有较强的通用性,可为其他类似光栅的优化设计提供借鉴。
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关键词
可调谐垂直腔面发射激光器
亚
波
长光栅
严格耦合波方法
遗传算法
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职称材料
自溯源光栅衍射效率的分析与研究
5
作者
梁利杰
刘丽琴
+7 位作者
管钰晴
孙佳媛
邹文哲
郭创为
张玉杰
褚小要
郭斌
雷李华
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023年第11期291-299,共9页
基于矢量衍射理论并采用严格耦合波方法建立了一种新型的自溯源光栅正弦结构及入射条件与衍射效率的理论模型;通过控制变量法分析了自溯源光栅结构参数、激光入射条件对衍射效率的影响规律;搭建了光栅衍射效率测量系统;结合光栅方程,计...
基于矢量衍射理论并采用严格耦合波方法建立了一种新型的自溯源光栅正弦结构及入射条件与衍射效率的理论模型;通过控制变量法分析了自溯源光栅结构参数、激光入射条件对衍射效率的影响规律;搭建了光栅衍射效率测量系统;结合光栅方程,计算了不同Littrow角对应的衍射效率。仿真结果表明:入射波为TM偏振态、入射波长为420 nm、入射角为80°时,自溯源光栅-1级衍射效率处于峰值状态,为4.3%;在Littrow结构中,入射波为TM偏振态、入射波长为415.51 nm、Littrow角为77.5°时,自溯源光栅-1级衍射效率达到最大,且接近非Littrow角对应的自溯源光栅的峰值衍射效率。实验结果表明:入射波为TM偏振态、入射波长为405 nm、入射角从65°~85°改变时,自溯源光栅的衍射效率呈上升到平稳再下降的趋势,67°~80°改变时,其衍射效率达到平稳最大值,其结果为0.6%左右,其衍射效率变化趋势与理论计算结果一致。
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关键词
自溯源光栅
严格耦合波方法
衍射效率
Littrow角
测量
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职称材料
基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计
被引量:
2
6
作者
朱伟忠
吴衍青
+3 位作者
史沛熊
郭智
邰仁忠
徐洪杰
《核技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期415-419,共5页
基于严格的矢量耦合波方法,对13.4nm(92.5eV)软X射线正入射于周期140nm的Si光栅和SiO2光栅的一级衍射效率进行了模拟计算,结果表明SiO2光栅的最大一级衍射效率远比Si光栅高,同时也比目前用于13.4nm软X射线干涉光刻的Cr/Si3N4复合光栅高...
基于严格的矢量耦合波方法,对13.4nm(92.5eV)软X射线正入射于周期140nm的Si光栅和SiO2光栅的一级衍射效率进行了模拟计算,结果表明SiO2光栅的最大一级衍射效率远比Si光栅高,同时也比目前用于13.4nm软X射线干涉光刻的Cr/Si3N4复合光栅高。本文提出用高级硅刻蚀工艺和硅氧化工艺制作深高宽比纳米级SiO2光栅的新方法,可以解决直接刻蚀制作此光栅难度大的问题,适用于制作上海光源(SSRF)软X射线干涉光刻分束光栅。
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关键词
软X射线透射光栅
衍射效率
高级硅刻蚀
硅氧化工艺
严格耦合波方法
软X射线干涉光刻
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职称材料
Si衬底表面圆柱形抗反射周期微结构的设计及制作
被引量:
6
7
作者
董亭亭
付跃刚
+3 位作者
陈驰
张磊
马辰昊
赵玄
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2016年第6期235-240,共6页
应用严格耦合波分析方法(RCWA),在本征硅片衬底表面设计并制作了一种圆柱形抗反射微结构元件。通过MATLAB软件模拟仿真确定其最优参数组合,使反射率设计值为3%。应用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术制作了单面和双面的圆柱形微结构,根...
应用严格耦合波分析方法(RCWA),在本征硅片衬底表面设计并制作了一种圆柱形抗反射微结构元件。通过MATLAB软件模拟仿真确定其最优参数组合,使反射率设计值为3%。应用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术制作了单面和双面的圆柱形微结构,根据结果得到射频功率、气体流量及工作气压对微结构侧壁陡直度及形貌具有很大影响。还分析比较了形状(t为实际柱顶面直径与底面直径之比)与反射率的关系。采用热场发射扫描电子显微镜对该结构进行形貌表征,综合显微成像红外光谱仪对反射率进行测量。实验结果:制作了单面、双面微结构与无结构本征硅片反射率做比较双面圆柱形微结构的抗反射效果最好,反射率达8%左右,基本达到抗反射设计要求。
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关键词
严格
耦合
波
分析
方法
(RCWA)
圆柱形微结构
反应离子刻蚀
反射率
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职称材料
采样光栅设计与衍射行为分析
被引量:
5
8
作者
陈德伟
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期28-29,共2页
从一维矩形光栅的衍射特性分析开始,将一维矩形光栅结构作一定的改变设计出采样光栅。将设计出的变周期采样光栅作适当的近似处理,然后用严格的耦合波分析方法对它的衍射特性进行了详细分析。
关键词
矩形光栅
严格
的
耦合
波
分析
方法
采样光栅
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职称材料
介质反射光栅中多层膜计算的研究
9
作者
严晖
顾培夫
《光学仪器》
2006年第4期27-30,共4页
介绍了采用增强透射矩阵进行计算的严格耦合波方法,将这种方法应用到介质反射光栅的多层膜计算中。通过与商用软件计算结果的对比,证明这种计算方法的计算结果是准确可信的。与已有的计算方法比较,该方法简化了介质反射光栅的计算工作。
关键词
介质反射光栅
严格耦合波方法
增强透射矩阵
多层介质膜
下载PDF
职称材料
衍射光栅分析软件构建与使用
10
作者
陈德伟
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期15-17,共3页
详细介绍了一套自主开发设计,基于标量衍射理论和严格耦合波分析方法,运行于Matlab平台下的衍射光栅分析软件,它将各种各样的光栅按照面形结构的不同,分类进行分析。首先简要介绍了Matlab环境中软件的构建步骤,对一些关键命令作了简要...
详细介绍了一套自主开发设计,基于标量衍射理论和严格耦合波分析方法,运行于Matlab平台下的衍射光栅分析软件,它将各种各样的光栅按照面形结构的不同,分类进行分析。首先简要介绍了Matlab环境中软件的构建步骤,对一些关键命令作了简要说明。然后对本软件所具有的功能一一举例,详细说明软件的使用方法。
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关键词
标量衍射理论
严格
的
耦合
波
分析
方法
衍射光栅
下载PDF
职称材料
一种具有亚波长光栅结构的光探测器的设计
被引量:
14
11
作者
杨一粟
黄永清
+2 位作者
黄辉
王琦
任晓敏
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第9期2352-2357,共6页
高速智能光纤通信系统和网络的飞速发展对光电探测器提出了更高要求。利用严格耦合波(RCWA)理论,给出了在亚波长光栅(SWG)下方具有分布布拉格反射镜(DBR)结构的理论分析模型,将这种结构作为反射镜应用于谐振腔增强型光探测器(RCE PD)的...
高速智能光纤通信系统和网络的飞速发展对光电探测器提出了更高要求。利用严格耦合波(RCWA)理论,给出了在亚波长光栅(SWG)下方具有分布布拉格反射镜(DBR)结构的理论分析模型,将这种结构作为反射镜应用于谐振腔增强型光探测器(RCE PD)的设计中。仿真表明由于SWG的引入,只需要4对λ/4厚度的InGaAsP/InP系DBR,可使整体膜系结构实现在中心波长1.55 μm处反射率达到99.7%,在1.40μm至1.62μm范围内反射率高于99%。引入SWG后的RCE PD在1.55μm附近的量子效率接近90%,串扰衰减系数与量子效率的乘积超过15 dB。有效地解决了InGaAsP/InP介质膜系DBR作为谐振腔反射镜反射率低、反射带宽窄的问题。
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关键词
光电子学
亚
波
长光栅
严格耦合波方法
光探测器
原文传递
斐波纳契数列准周期微结构光吸收特性
被引量:
1
12
作者
董泽东
刘友文
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期54-59,共6页
设计了一种按斐波纳契数列排列的准周期光学微结构。在TM偏振模式下,运用严格耦合波分析(RCWA)方法,对光学微结构的光吸收率进行了数值计算。讨论了斐波纳契级数、占空比以及镀膜的厚度3种因素对微结构光吸收效率的影响。得出在AM1.5...
设计了一种按斐波纳契数列排列的准周期光学微结构。在TM偏振模式下,运用严格耦合波分析(RCWA)方法,对光学微结构的光吸收率进行了数值计算。讨论了斐波纳契级数、占空比以及镀膜的厚度3种因素对微结构光吸收效率的影响。得出在AM1.5太阳能光谱辐照度下,当斐波纳契级数为S3、占空比f=0.7以及镀膜厚度t=20nm时,该结构在300~1100nm波段内最高平均吸收率可以达到95.17%,说明在太阳能电池表面抗反射层应用方面具有很大的潜力。
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关键词
衍射
太阳能电池
严格
耦合
波
分析
方法
光吸收
原文传递
基于亚微米光栅透射共振蛋白质检测模型研究
被引量:
1
13
作者
肖伟
李世雄
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第1期77-81,共5页
建立了一种基于亚微米光栅透射共振理论的蛋白质检测模型,设计了一种金属光栅型蛋白质检测生物传感器,运用光栅耦合激发表面等离子体共振理论对提出的模型进行了理论分析,通过计算机计算模拟,分析了蛋白质样品折射率、厚度等对透射率的...
建立了一种基于亚微米光栅透射共振理论的蛋白质检测模型,设计了一种金属光栅型蛋白质检测生物传感器,运用光栅耦合激发表面等离子体共振理论对提出的模型进行了理论分析,通过计算机计算模拟,分析了蛋白质样品折射率、厚度等对透射率的影响。结果表明:透射率与样品折射率、厚度呈二阶多项式关系,并且厚度、折射率都随灵敏度的增加而增加。这种检测模型可应用在蛋白质检测传感方面。基于此方法的蛋白质检测模型具有同时检测蛋白质种类和含量、灵敏度高、实时、无需标记,便于集成芯片化,适用于批量生产、成本低等优点,在蛋白质芯片、生物分析、环境监测、生物器件研发等方面具有广泛的应用前景。
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关键词
激光技术
生物传感器
严格耦合波方法
金属光栅
表面等离子体共振
原文传递
13.4nm软X射线干涉光刻透射光栅的优化设计
被引量:
3
14
作者
朱伟忠
吴衍青
+3 位作者
陈敏
王纳秀
邰仁忠
徐洪杰
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第7期1225-1230,共6页
基于严格的矢量耦合波方法,结合纳米级光栅实际制作工艺,定量分析了在13.4 nm软X射线(TE偏振)正入射条件下,光栅材料、厚度、占空比、梯形浮雕底角大小等因素对光栅一级衍射效率的影响。结果表明,在此波段处,Si3N4、Cr、Au浮雕的相位作...
基于严格的矢量耦合波方法,结合纳米级光栅实际制作工艺,定量分析了在13.4 nm软X射线(TE偏振)正入射条件下,光栅材料、厚度、占空比、梯形浮雕底角大小等因素对光栅一级衍射效率的影响。结果表明,在此波段处,Si3N4、Cr、Au浮雕的相位作用对光栅衍射起重要影响,其中非金属材料Si3N4比金属材料Cr、Au的相位作用更明显。最后优化得到了用Si(或Si3N4)做衬底的Si3N4、Cr、Au光栅,分析结果显示,其一级衍射效率优于目前用于13.4 nm软X射线干涉光刻的Cr、Si3N4复合光栅。
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关键词
干涉光刻
软X射线透射光栅
严格耦合波方法
复折射率
衍射效率
原文传递
大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测
被引量:
3
15
作者
朱伟忠
吴衍青
+8 位作者
郭智
朱效立
马杰
谢常青
史沛熊
周洪军
霍同林
邰仁忠
徐洪杰
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第10期6386-6392,共7页
基于严格的矢量耦合波理论,优化设计了用于13.4 nm软X射线干涉光刻的透射型双光栅掩模版.采用电子束光刻技术,在国内首次成功制作了周期为100 nm的大面积金属型透射光栅.光栅面积为1.5 mm×1.5 mm,Cr浮雕厚度为50 nm,Gap/period为0...
基于严格的矢量耦合波理论,优化设计了用于13.4 nm软X射线干涉光刻的透射型双光栅掩模版.采用电子束光刻技术,在国内首次成功制作了周期为100 nm的大面积金属型透射光栅.光栅面积为1.5 mm×1.5 mm,Cr浮雕厚度为50 nm,Gap/period为0.6,衬底Si3N4厚度为100 nm.此光栅将用于上海光源软X射线干涉光刻实验站.利用其1级衍射光和2级衍射光将可以经济高效地制作周期为50和25 nm的大面积周期结构.最后,测量了该光栅对波长为13.4 nm同步辐射光的衍射光强度,并且推算得出该光栅的1级和2级衍射效率分别为4.41%和0.49%,与理论设计值比较符合.实验结果与理论模拟结果的对比表明该光栅侧壁陡直,Gap/period的控制也与设计值符合.
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关键词
软X射线金属型透射光栅
严格耦合波方法
衍射效率
软X射线干涉光刻
原文传递
题名
严格耦合波方法计算立体正弦光栅衍射效率
被引量:
1
1
作者
陈刚
孙可
刘浩
机构
南京信息职业技术学院微电子学院
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期22-24,共3页
基金
江苏省科技厅科技支撑计划项目(BE2009171)
文摘
为了研究振幅型光栅的衍射效率,运用严格耦合波方法建立立体正弦透射光栅的计算模型。用Matlab软件编程计算衍射效率,并模拟了光栅层附近区域内的光场振幅和相位分布。计算结果表明模型衍射效率与平面的正弦型光栅有差别,其与周期,光栅厚度相关;在一定条件下两者非常接近。
关键词
正弦光栅
衍射效率
严格耦合波方法
计算
Keywords
sinusoidal gratings
diffraction efficiency
rigousous coupled wave method
calculation
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
利用严格耦合波方法研究多层介质膜光栅掩膜特性
被引量:
5
2
作者
万华
陈新荣
吴建宏
机构
苏州大学信息光学工程研究所
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第9期1275-1280,共6页
基金
国家863计划(2004AA849023)资助项目
文摘
从理论和实验上研究了多层介质膜光栅掩膜特性,用严格耦合波(RCW)法对由光栅掩膜槽形和多层膜介质基底引起的衍射效率的变化进行了理论分析,计算得出不同形貌下的光栅掩膜的反射0级光谱衍射效率分布。在实验检测方法上,采用了0级反射光衍射效率分布来进行槽形判断,并将实验结果和理论计算进行了对比。结果证明使用该方法研究光栅掩膜形貌在一定程度上是有效的。
关键词
衍射与光栅
光栅掩膜检测
严格耦合波方法
多层介质膜
Keywords
diffraction and gratings
detection of gratings mask
rigorous coupled wave method
multilayer dielectric stack
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
光栅衍射特性的耦合波分析、计算与讨论
被引量:
7
3
作者
蔡托
桑田
赵华
机构
黔南民族师范学院物理与电子科学系
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期141-146,共6页
基金
贵州省省长基金资助项目(200847)
文摘
本文从麦克斯韦方程组及电磁场边界条件出发,推导了广泛应用于各类光栅衍射问题的矢量分析方法——严格的耦合波分析方法。针对光栅的衍射特性,编写了基于严格的耦合波分析方法的计算程序,并以TE模情形为例对光栅的衍射效率和收敛性作了数值计算。结果表明,当谐波数不断增加,即便对于厚光栅(d/λ>10)情形,光栅的衍射效率仍将收敛于某一确定值。
关键词
衍射光栅
严格
的
耦合
波
分析
方法
衍射效率
收敛性
Keywords
diffraction grating
rigorous coupled-wave analysis
diffraction efficiency
convergence
分类号
O437.4 [机械工程—光学工程]
TN253 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
工作波长为1050 nm高透亚波长光栅的设计
被引量:
1
4
作者
胡华奎
郑衍畅
王铭
王海
机构
安徽工程大学机械与汽车工程学院
出处
《新乡学院学报》
2020年第3期13-17,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(11705001)。
文摘
高透射性的亚波长光栅可扩大微机电可调谐垂直腔面发射激光器的波长调谐范围,而使波长调谐范围达到最优,就需要亚波长光栅的透射率最大,这需要优化光栅参数。利用严格耦合波方法,结合遗传算法,设计了一种1050 nm波长亚波长光栅结构。计算分析得出:对于TE偏振,在光栅周期为204 nm、占宽比为0.19、槽深为142 nm的结构参数下,透射率可高达99.99%;对于TM偏振,在周期为169 nm、占宽比为0.72、槽深为138 nm的结构参数下,透射率可高达99.99%。通过分析结构参数对光栅透射率的影响,证明该光栅结构对周期、占宽比、槽深具有优良的工艺容差。该设计方法的运用简单快速,能够避免陷入局部最优,且具有较强的通用性,可为其他类似光栅的优化设计提供借鉴。
关键词
可调谐垂直腔面发射激光器
亚
波
长光栅
严格耦合波方法
遗传算法
Keywords
tunable vertical cavity surface emitting laser
sub-wavelength grating
rigorous coupled wave method
genetic algorithm
分类号
TN248.4 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
自溯源光栅衍射效率的分析与研究
5
作者
梁利杰
刘丽琴
管钰晴
孙佳媛
邹文哲
郭创为
张玉杰
褚小要
郭斌
雷李华
机构
中国计量大学计量测试工程学院
上海市计量测试技术研究院
上海在线检测与控制技术重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023年第11期291-299,共9页
基金
国家重点研发计划项目(2021YFF0603300)
上海市自然科学基金项目(21ZR1483100)
上海市在线检测与控制技术重点实验室基金项目(A04202223003)。
文摘
基于矢量衍射理论并采用严格耦合波方法建立了一种新型的自溯源光栅正弦结构及入射条件与衍射效率的理论模型;通过控制变量法分析了自溯源光栅结构参数、激光入射条件对衍射效率的影响规律;搭建了光栅衍射效率测量系统;结合光栅方程,计算了不同Littrow角对应的衍射效率。仿真结果表明:入射波为TM偏振态、入射波长为420 nm、入射角为80°时,自溯源光栅-1级衍射效率处于峰值状态,为4.3%;在Littrow结构中,入射波为TM偏振态、入射波长为415.51 nm、Littrow角为77.5°时,自溯源光栅-1级衍射效率达到最大,且接近非Littrow角对应的自溯源光栅的峰值衍射效率。实验结果表明:入射波为TM偏振态、入射波长为405 nm、入射角从65°~85°改变时,自溯源光栅的衍射效率呈上升到平稳再下降的趋势,67°~80°改变时,其衍射效率达到平稳最大值,其结果为0.6%左右,其衍射效率变化趋势与理论计算结果一致。
关键词
自溯源光栅
严格耦合波方法
衍射效率
Littrow角
测量
Keywords
s:elf-traceable grating
rigorous coupled-wave method
diffraction efficiency
Littrow angle
measurement
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计
被引量:
2
6
作者
朱伟忠
吴衍青
史沛熊
郭智
邰仁忠
徐洪杰
机构
中国科学院上海应用物理研究所
丹麦科技大学
出处
《核技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期415-419,共5页
文摘
基于严格的矢量耦合波方法,对13.4nm(92.5eV)软X射线正入射于周期140nm的Si光栅和SiO2光栅的一级衍射效率进行了模拟计算,结果表明SiO2光栅的最大一级衍射效率远比Si光栅高,同时也比目前用于13.4nm软X射线干涉光刻的Cr/Si3N4复合光栅高。本文提出用高级硅刻蚀工艺和硅氧化工艺制作深高宽比纳米级SiO2光栅的新方法,可以解决直接刻蚀制作此光栅难度大的问题,适用于制作上海光源(SSRF)软X射线干涉光刻分束光栅。
关键词
软X射线透射光栅
衍射效率
高级硅刻蚀
硅氧化工艺
严格耦合波方法
软X射线干涉光刻
Keywords
Soft X-ray transmission grating, Diffraction efficiency, Advanced silicon etching, Silicon oxidationtechnology, Rigorous coupled-wave analysis, Soft X-ray interference lithography
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
Si衬底表面圆柱形抗反射周期微结构的设计及制作
被引量:
6
7
作者
董亭亭
付跃刚
陈驰
张磊
马辰昊
赵玄
机构
长春理工大学光电工程学院
华中光电技术研究所-武汉光电国家实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2016年第6期235-240,共6页
基金
国家自然科学基金(61108044)
吉林省自然科研基金(20150101038JC)
文摘
应用严格耦合波分析方法(RCWA),在本征硅片衬底表面设计并制作了一种圆柱形抗反射微结构元件。通过MATLAB软件模拟仿真确定其最优参数组合,使反射率设计值为3%。应用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术制作了单面和双面的圆柱形微结构,根据结果得到射频功率、气体流量及工作气压对微结构侧壁陡直度及形貌具有很大影响。还分析比较了形状(t为实际柱顶面直径与底面直径之比)与反射率的关系。采用热场发射扫描电子显微镜对该结构进行形貌表征,综合显微成像红外光谱仪对反射率进行测量。实验结果:制作了单面、双面微结构与无结构本征硅片反射率做比较双面圆柱形微结构的抗反射效果最好,反射率达8%左右,基本达到抗反射设计要求。
关键词
严格
耦合
波
分析
方法
(RCWA)
圆柱形微结构
反应离子刻蚀
反射率
Keywords
rigorous coupled wave analysis(RCWA)
cylindrical microstructure
RIE
reflectance
分类号
O485 [理学—固体物理]
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
采样光栅设计与衍射行为分析
被引量:
5
8
作者
陈德伟
机构
常州工学院电子信息与电气工程系
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期28-29,共2页
文摘
从一维矩形光栅的衍射特性分析开始,将一维矩形光栅结构作一定的改变设计出采样光栅。将设计出的变周期采样光栅作适当的近似处理,然后用严格的耦合波分析方法对它的衍射特性进行了详细分析。
关键词
矩形光栅
严格
的
耦合
波
分析
方法
采样光栅
Keywords
Rectangular grating
Rigorous coupled -wave analysis
Beam sampling grating
分类号
TN248.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
介质反射光栅中多层膜计算的研究
9
作者
严晖
顾培夫
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《光学仪器》
2006年第4期27-30,共4页
文摘
介绍了采用增强透射矩阵进行计算的严格耦合波方法,将这种方法应用到介质反射光栅的多层膜计算中。通过与商用软件计算结果的对比,证明这种计算方法的计算结果是准确可信的。与已有的计算方法比较,该方法简化了介质反射光栅的计算工作。
关键词
介质反射光栅
严格耦合波方法
增强透射矩阵
多层介质膜
Keywords
dielectric reflection gratings
rigorous coupled wave analysis
enhanced transmittance matrix
multilayer dielectric
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
衍射光栅分析软件构建与使用
10
作者
陈德伟
机构
常州工学院电子信息与电气工程学院
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期15-17,共3页
文摘
详细介绍了一套自主开发设计,基于标量衍射理论和严格耦合波分析方法,运行于Matlab平台下的衍射光栅分析软件,它将各种各样的光栅按照面形结构的不同,分类进行分析。首先简要介绍了Matlab环境中软件的构建步骤,对一些关键命令作了简要说明。然后对本软件所具有的功能一一举例,详细说明软件的使用方法。
关键词
标量衍射理论
严格
的
耦合
波
分析
方法
衍射光栅
Keywords
scalar diffraction theory
rigorous coupled-wave analysis
diffractive grating
分类号
TN248.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
一种具有亚波长光栅结构的光探测器的设计
被引量:
14
11
作者
杨一粟
黄永清
黄辉
王琦
任晓敏
机构
信息光子学与光通信教育部重点实验室(北京邮电大学)
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第9期2352-2357,共6页
基金
国家973计划(2003CB314900)
国家863计划(2006AA032416)
+4 种基金
国家自然科学基金(60576018)
国际科技合作重点项目计划(2006DFB11110)
教育部“新世纪人才支持计划”(NCET-05-0111)
北京市教育委员会共建项目(XK100130637)
高等学校创新引智计划(111计划)资助课题
文摘
高速智能光纤通信系统和网络的飞速发展对光电探测器提出了更高要求。利用严格耦合波(RCWA)理论,给出了在亚波长光栅(SWG)下方具有分布布拉格反射镜(DBR)结构的理论分析模型,将这种结构作为反射镜应用于谐振腔增强型光探测器(RCE PD)的设计中。仿真表明由于SWG的引入,只需要4对λ/4厚度的InGaAsP/InP系DBR,可使整体膜系结构实现在中心波长1.55 μm处反射率达到99.7%,在1.40μm至1.62μm范围内反射率高于99%。引入SWG后的RCE PD在1.55μm附近的量子效率接近90%,串扰衰减系数与量子效率的乘积超过15 dB。有效地解决了InGaAsP/InP介质膜系DBR作为谐振腔反射镜反射率低、反射带宽窄的问题。
关键词
光电子学
亚
波
长光栅
严格耦合波方法
光探测器
Keywords
optoelectronics
subwavelength grating
rigorous coupled-wave approach
photodetectors
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
斐波纳契数列准周期微结构光吸收特性
被引量:
1
12
作者
董泽东
刘友文
机构
南京航空航天大学理学院
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期54-59,共6页
基金
国家自然科学基金(11174147)
文摘
设计了一种按斐波纳契数列排列的准周期光学微结构。在TM偏振模式下,运用严格耦合波分析(RCWA)方法,对光学微结构的光吸收率进行了数值计算。讨论了斐波纳契级数、占空比以及镀膜的厚度3种因素对微结构光吸收效率的影响。得出在AM1.5太阳能光谱辐照度下,当斐波纳契级数为S3、占空比f=0.7以及镀膜厚度t=20nm时,该结构在300~1100nm波段内最高平均吸收率可以达到95.17%,说明在太阳能电池表面抗反射层应用方面具有很大的潜力。
关键词
衍射
太阳能电池
严格
耦合
波
分析
方法
光吸收
Keywords
diffraction
solar cell
rigorous coupled wave analysis method
optical absorption
分类号
O436.2 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
基于亚微米光栅透射共振蛋白质检测模型研究
被引量:
1
13
作者
肖伟
李世雄
机构
贵州大学贵州省光电子技术及应用重点实验室
出处
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第1期77-81,共5页
文摘
建立了一种基于亚微米光栅透射共振理论的蛋白质检测模型,设计了一种金属光栅型蛋白质检测生物传感器,运用光栅耦合激发表面等离子体共振理论对提出的模型进行了理论分析,通过计算机计算模拟,分析了蛋白质样品折射率、厚度等对透射率的影响。结果表明:透射率与样品折射率、厚度呈二阶多项式关系,并且厚度、折射率都随灵敏度的增加而增加。这种检测模型可应用在蛋白质检测传感方面。基于此方法的蛋白质检测模型具有同时检测蛋白质种类和含量、灵敏度高、实时、无需标记,便于集成芯片化,适用于批量生产、成本低等优点,在蛋白质芯片、生物分析、环境监测、生物器件研发等方面具有广泛的应用前景。
关键词
激光技术
生物传感器
严格耦合波方法
金属光栅
表面等离子体共振
Keywords
laser technique
bio-sensor
rigorous coupled-waved analysis method
metal grating
surface plasmon resonance
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
13.4nm软X射线干涉光刻透射光栅的优化设计
被引量:
3
14
作者
朱伟忠
吴衍青
陈敏
王纳秀
邰仁忠
徐洪杰
机构
中国科学院上海应用物理研究所
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第7期1225-1230,共6页
基金
上海同步辐射装置干涉光刻实验站项目资助课题
文摘
基于严格的矢量耦合波方法,结合纳米级光栅实际制作工艺,定量分析了在13.4 nm软X射线(TE偏振)正入射条件下,光栅材料、厚度、占空比、梯形浮雕底角大小等因素对光栅一级衍射效率的影响。结果表明,在此波段处,Si3N4、Cr、Au浮雕的相位作用对光栅衍射起重要影响,其中非金属材料Si3N4比金属材料Cr、Au的相位作用更明显。最后优化得到了用Si(或Si3N4)做衬底的Si3N4、Cr、Au光栅,分析结果显示,其一级衍射效率优于目前用于13.4 nm软X射线干涉光刻的Cr、Si3N4复合光栅。
关键词
干涉光刻
软X射线透射光栅
严格耦合波方法
复折射率
衍射效率
Keywords
interference lithography
soft X-ray transmission grating
rigorous coupled-wave method
complex refractive index
diffraction efficiency
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测
被引量:
3
15
作者
朱伟忠
吴衍青
郭智
朱效立
马杰
谢常青
史沛熊
周洪军
霍同林
邰仁忠
徐洪杰
机构
中科院上海应用物理研究所
中国科学院微电子研究所
丹麦科技大学
中国科技大学国家同步辐射实验室
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第10期6386-6392,共7页
基金
国家重点基础研究发展计划(973)项目(批准号:2007CB935302)
国家高技术研究发展计划(863)新材料领域(批准号:2006AA03Z355)资助的课题~~
文摘
基于严格的矢量耦合波理论,优化设计了用于13.4 nm软X射线干涉光刻的透射型双光栅掩模版.采用电子束光刻技术,在国内首次成功制作了周期为100 nm的大面积金属型透射光栅.光栅面积为1.5 mm×1.5 mm,Cr浮雕厚度为50 nm,Gap/period为0.6,衬底Si3N4厚度为100 nm.此光栅将用于上海光源软X射线干涉光刻实验站.利用其1级衍射光和2级衍射光将可以经济高效地制作周期为50和25 nm的大面积周期结构.最后,测量了该光栅对波长为13.4 nm同步辐射光的衍射光强度,并且推算得出该光栅的1级和2级衍射效率分别为4.41%和0.49%,与理论设计值比较符合.实验结果与理论模拟结果的对比表明该光栅侧壁陡直,Gap/period的控制也与设计值符合.
关键词
软X射线金属型透射光栅
严格耦合波方法
衍射效率
软X射线干涉光刻
Keywords
soft X-ray metal transmission grating, rigorous coupled-wave analysis, diffraction efficiency, soft X-ray interference lithography
分类号
TP274.5 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN25 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
严格耦合波方法计算立体正弦光栅衍射效率
陈刚
孙可
刘浩
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
下载PDF
职称材料
2
利用严格耦合波方法研究多层介质膜光栅掩膜特性
万华
陈新荣
吴建宏
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
5
原文传递
3
光栅衍射特性的耦合波分析、计算与讨论
蔡托
桑田
赵华
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2010
7
下载PDF
职称材料
4
工作波长为1050 nm高透亚波长光栅的设计
胡华奎
郑衍畅
王铭
王海
《新乡学院学报》
2020
1
下载PDF
职称材料
5
自溯源光栅衍射效率的分析与研究
梁利杰
刘丽琴
管钰晴
孙佳媛
邹文哲
郭创为
张玉杰
褚小要
郭斌
雷李华
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
6
基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计
朱伟忠
吴衍青
史沛熊
郭智
邰仁忠
徐洪杰
《核技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
2
下载PDF
职称材料
7
Si衬底表面圆柱形抗反射周期微结构的设计及制作
董亭亭
付跃刚
陈驰
张磊
马辰昊
赵玄
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2016
6
下载PDF
职称材料
8
采样光栅设计与衍射行为分析
陈德伟
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2006
5
下载PDF
职称材料
9
介质反射光栅中多层膜计算的研究
严晖
顾培夫
《光学仪器》
2006
0
下载PDF
职称材料
10
衍射光栅分析软件构建与使用
陈德伟
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2006
0
下载PDF
职称材料
11
一种具有亚波长光栅结构的光探测器的设计
杨一粟
黄永清
黄辉
王琦
任晓敏
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
14
原文传递
12
斐波纳契数列准周期微结构光吸收特性
董泽东
刘友文
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
原文传递
13
基于亚微米光栅透射共振蛋白质检测模型研究
肖伟
李世雄
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013
1
原文传递
14
13.4nm软X射线干涉光刻透射光栅的优化设计
朱伟忠
吴衍青
陈敏
王纳秀
邰仁忠
徐洪杰
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
3
原文传递
15
大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测
朱伟忠
吴衍青
郭智
朱效立
马杰
谢常青
史沛熊
周洪军
霍同林
邰仁忠
徐洪杰
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
3
原文传递
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