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铝钽合金薄膜热稳定性及其中功率衰减器的研究
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作者 贾宇明 杨邦朝 曲喜新 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期426-429,共4页
铝钽合金薄膜热稳定性及其中功率衰减器的研究＊贾宇明杨邦朝曲喜新（电子科技大学信息材料工程学院成都６１００５４）１引言铝与某些金属可以形成优良的耐热铝合金材料。已有文献报导了用溅射方法制出的铝钽合金薄膜可以用于制造耐热... 铝钽合金薄膜热稳定性及其中功率衰减器的研究＊贾宇明杨邦朝曲喜新（电子科技大学信息材料工程学院成都６１００５４）１引言铝与某些金属可以形成优良的耐热铝合金材料。已有文献报导了用溅射方法制出的铝钽合金薄膜可以用于制造耐热的薄膜元器件〔１～４〕。我们发现当... 展开更多
关键词 铝钽合金 薄膜 热稳定性 中功率衰减器 耐热合金
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