中子深度剖面分析(Neutron Depth Profiling,NDP)是一种高灵敏、高分辨测量材料近表面深度分布信息的无损检测技术,利用中国先进研究堆(China Advanced Research Reactor,CARR)冷中子束建立了一套中子深度剖面分析系统,该系统真空度优...中子深度剖面分析(Neutron Depth Profiling,NDP)是一种高灵敏、高分辨测量材料近表面深度分布信息的无损检测技术,利用中国先进研究堆(China Advanced Research Reactor,CARR)冷中子束建立了一套中子深度剖面分析系统,该系统真空度优于其他NDP设备,可达到3.4×10-5 Pa。冷中子注量率高是其另一大优势,CARR在15 MW功率下运行时,用金活化法测得中子导管末端的中子注量率约为4.8×108cm-2?s-1。此外,该系统一次性可以测量6个样品,简单易行。通过测试美国国家标准与技术研究院(National Institute of Standards and Technology,NIST)标准物质SRM-2137评价CARR-NDP系统的性能,测量结果与参考值具有较好的一致性,验证了CARR-NDP系统的可行性。展开更多
中子深度剖面分析(Neutron depth profiling,NDP)技术在半导体生产、离子注入研究、材料科学等领域有广泛应用。为了探究NDP能谱分析中模拟软件的一致性与可靠性,本文对比了SRIM、MCNP、FLUKA和GEANT4等软件模拟NDP的结果;对比分析了4...中子深度剖面分析(Neutron depth profiling,NDP)技术在半导体生产、离子注入研究、材料科学等领域有广泛应用。为了探究NDP能谱分析中模拟软件的一致性与可靠性,本文对比了SRIM、MCNP、FLUKA和GEANT4等软件模拟NDP的结果;对比分析了4款模拟软件模拟的α粒子能谱,并以美国国家标准与技术研究院(National Institute of Standards and Technology,NIST)标准物质SRM2137实测谱为标准对模拟谱进行评价。结果表明:4款模拟软件所模拟的α能谱在2μm厚晶体硅层内峰位能量一致性较好;MCNP模拟的半高宽和峰位结果优于FLUKA和GEANT4的模拟结果。展开更多
中子活化分析具有高准确度、高灵敏度和非破坏多元素同时分析等特点,我国的中子活化分析(NAA)工作始于20世纪60年代初,并于1971年在中国原子能科学研究院成立了活化分析实验室.先后为我国的核爆、核能、月样等分析作出了重要贡献.随着...中子活化分析具有高准确度、高灵敏度和非破坏多元素同时分析等特点,我国的中子活化分析(NAA)工作始于20世纪60年代初,并于1971年在中国原子能科学研究院成立了活化分析实验室.先后为我国的核爆、核能、月样等分析作出了重要贡献.随着新建的中国先进研究堆(China Advanced Research Reactor,CARR)中子活化分析先进研究平台(图1)的完善和运行,使得活化分析具有更高的中子注量率,建成的高度集成自动活化分析、瞬发伽玛分析、中子深度剖面分析、微束分析和缓发中子测量等现代先进水平的活化分析设施,具有自主辐照控制和三套高度自动控制测量系统,可测定H、B等80种元素,其准确度和分析速度也有大幅提高,大部分元素的灵敏度将提高到10^-8~10^-15 g.展开更多
文摘中子深度剖面分析(Neutron Depth Profiling,NDP)是一种高灵敏、高分辨测量材料近表面深度分布信息的无损检测技术,利用中国先进研究堆(China Advanced Research Reactor,CARR)冷中子束建立了一套中子深度剖面分析系统,该系统真空度优于其他NDP设备,可达到3.4×10-5 Pa。冷中子注量率高是其另一大优势,CARR在15 MW功率下运行时,用金活化法测得中子导管末端的中子注量率约为4.8×108cm-2?s-1。此外,该系统一次性可以测量6个样品,简单易行。通过测试美国国家标准与技术研究院(National Institute of Standards and Technology,NIST)标准物质SRM-2137评价CARR-NDP系统的性能,测量结果与参考值具有较好的一致性,验证了CARR-NDP系统的可行性。
文摘中子深度剖面分析(Neutron depth profiling,NDP)技术在半导体生产、离子注入研究、材料科学等领域有广泛应用。为了探究NDP能谱分析中模拟软件的一致性与可靠性,本文对比了SRIM、MCNP、FLUKA和GEANT4等软件模拟NDP的结果;对比分析了4款模拟软件模拟的α粒子能谱,并以美国国家标准与技术研究院(National Institute of Standards and Technology,NIST)标准物质SRM2137实测谱为标准对模拟谱进行评价。结果表明:4款模拟软件所模拟的α能谱在2μm厚晶体硅层内峰位能量一致性较好;MCNP模拟的半高宽和峰位结果优于FLUKA和GEANT4的模拟结果。
文摘中子活化分析具有高准确度、高灵敏度和非破坏多元素同时分析等特点,我国的中子活化分析(NAA)工作始于20世纪60年代初,并于1971年在中国原子能科学研究院成立了活化分析实验室.先后为我国的核爆、核能、月样等分析作出了重要贡献.随着新建的中国先进研究堆(China Advanced Research Reactor,CARR)中子活化分析先进研究平台(图1)的完善和运行,使得活化分析具有更高的中子注量率,建成的高度集成自动活化分析、瞬发伽玛分析、中子深度剖面分析、微束分析和缓发中子测量等现代先进水平的活化分析设施,具有自主辐照控制和三套高度自动控制测量系统,可测定H、B等80种元素,其准确度和分析速度也有大幅提高,大部分元素的灵敏度将提高到10^-8~10^-15 g.
