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激光准直高斯光斑中心位置计算方法分析 被引量:12
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作者 陈青山 吕乃光 +1 位作者 燕必希 张志凤 《计算机测量与控制》 CSCD 2004年第5期486-488,共3页
结合一种用于大孔同轴度测量的激光准直系统,分析高斯光斑能量中心坐标的几种常用计算方法:对称法、曲线拟合法和重心法。准直系统用单模尾纤半导体激光器作光源,用CCD探测器接收激光光斑。重心法计算时该实验装置实验室内6m距离上的方... 结合一种用于大孔同轴度测量的激光准直系统,分析高斯光斑能量中心坐标的几种常用计算方法:对称法、曲线拟合法和重心法。准直系统用单模尾纤半导体激光器作光源,用CCD探测器接收激光光斑。重心法计算时该实验装置实验室内6m距离上的方向稳定性达到1 5×10-6的量级。实验表明重心法有效利用光斑全场数据,对光强分布缺陷不敏感,分辨率和示值重复性都优于对称法和曲线拟合法。 展开更多
关键词 激光准直 高斯光斑 中心位置计算方法 对称法 曲线拟合法 重心法
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