采用联合变换相关的透镜中心偏差测量

基于双相位编码光学联合变换相关技术提出了一种测量透镜中心偏差的方法以确定偏差方向并提高测量精度。在经典联合变换相关原理基础之上,使用两个相位函数分别对参考图像和联合功率谱进行编码,并选用合适的滤波器消除旁瓣干扰,得到单个互相关峰的输出。利用该双相位编码后的联合变换相关技术探测不同目标图像相对于参考图像的位移矢量,并拟合圆。此拟合圆圆心到圆上点的矢量即为经自准直光学系统放大后的偏心矢量,从而同时确定了中心偏差的大小和方向。实验结果表明,通过双相位编码后的相关输出仅保留一个尖锐的相关峰,实现了位移矢量的亚像元探测;使用联合变换相关技术准确地测量了透镜的中心偏差,其测量结果的实验标准差为0.1μm,误差绝对值最大为0.3μm,满足一般透镜中心偏差测量的要求。

基于Anti-windup的光学中心偏差测量仪伺服系统的PID控制研究

针对光学中心偏差测量仪伺服控制系统运动中存在的非线性饱和问题,提出一种基于Anti-windup的PID控制算法,有效地解决了光学中心偏差测量仪直线导轨运动伺服系统中存在的控制器Windup问题。仿真结果表明:直线导轨伺服系统的性能得到明显改善,验证了该控制算法的可行性。