超精密光学非球曲面磨削系统的研制

为磨削加工出高精度、高质量的非球曲面器件 ,从理论上分析影响已加工表面粗糙度、轮廓精度的各种主要因素 ;设计研制一套超精密非球曲面磨削系统 ,其工件主轴、横溜板、纵溜板及磨头主轴均采用气浮形式 ,工件主轴的回转精度为 0 .0 5μm,磨头主轴最高转速为 80 0 0 0 r/min,其回转精度为 0 .1 μm,横溜板和纵溜板的直线位移分辨率可达 4 .9nm,而磨头中心高微调机构可实现 0 .1 μm的精确微调 ;用已经研制成功的这套磨削系统进行了非球曲面的磨削实验 ,结果表明 ,其磨削加工的零件轮廓精度为 0 .4 μm,表面粗糙度 Ra优于0 .0 1 μm。