生活垃圾焚烧炉低中温烘煮炉技术改进及优化

通过对垃圾电厂低中温烘煮炉及吹管工艺优化,大大缩短了机组调试周期,节约了大量成本;同时为机组提前顺利投产争取了宝贵时间。

UV-LIGA技术在多层微结构制备中的工艺研究

UV-LIGA技术在制备多层复杂微结构时存在如何确保多层套刻对准精度,尺寸控制精度及层间良好结合的问题。该文对这些问题进行了分析与实验研究,实验证明,弱曝光是产生层间位移,影响套刻精度的原因之一,减少曝光所产生的应力应以不发生位移为前提;降低升降温速率能有效降低应力,提高层间结合性能,从而减少图形位移,确保套刻对准的精度。