中电集团公司第45研究所为适应国内集成电路产业的飞速发展对集成电路设备的巨大需求,以 IC 关键工艺制造设备—分步投影光刻机为龙头,积极开发研制集成电路中测设备、封装设备、材料加工设备、电子元件生产设备等,其水平目前在我国处...中电集团公司第45研究所为适应国内集成电路产业的飞速发展对集成电路设备的巨大需求,以 IC 关键工艺制造设备—分步投影光刻机为龙头,积极开发研制集成电路中测设备、封装设备、材料加工设备、电子元件生产设备等,其水平目前在我国处于领先水平,且有十多项成果被列为替代进口产品,另有多种自研设备打入了国际市场。展开更多
文摘中电集团公司第45研究所为适应国内集成电路产业的飞速发展对集成电路设备的巨大需求,以 IC 关键工艺制造设备—分步投影光刻机为龙头,积极开发研制集成电路中测设备、封装设备、材料加工设备、电子元件生产设备等,其水平目前在我国处于领先水平,且有十多项成果被列为替代进口产品,另有多种自研设备打入了国际市场。