高精尖探索铸就技术摇篮 产学研联动发展镀膜产业——记中科院上海光机所光学薄膜技术研究与发展中心

中科院上海光机所光学薄膜技术研究与发展中心(以下简称薄膜中心)专门从事光学薄膜技术的研究与开发,其前身是1964年组建的、并集结了当时全国从事激光薄膜研制大部分骨干力量的上海光机所技术光学研究室"镀膜组"。经过40多年的发展,薄膜中心在光学薄膜制备方面拥有雄厚的研究基础和完善的测试平台;特别是高性能、高损伤阈值激光薄膜的研究处于国内领先水平。在稳抓基础研究、完善镀膜工艺的同时,薄膜中心积极转化研究成果,推进薄膜产业化,特别是在1999年成立了薄膜事业部。该部目前已经实现了汽车车灯薄膜、强光防护滤光片、透明导电膜、紫外激光薄膜和高品质激光波长分离薄膜产品等多个系列薄膜产品和器件的量化生产。2007年,薄膜中心共获得四项国家自然科学基金的资助,薄膜事业部的主打产品——防护滤光片达到年产50万片的产能,占据了国内同类产品30%的市场份额。

"纳米精度激光激振测振仪"研制成功

同家'863'计划项目'纳米精度激光激振测振仪'日前在中科院上海光机所通过科技部高技术中心、863计划先进制造与自动化技术领域MEMS重大专项专家组的验收。中科院上海光机所信息光学实验室王向朝课题组经过一年多的努力,采用小光斑光致激振技术和正弦相位调制测振技术,研制成功一台纳米精度激光激振测振仪样机。经华东国家计量测试中心现场检测,该样机激振光斑直径小于10μm,振幅测量重复精度小于3nm。