电子镇流器

电子镇流器电子镇流器是近几年发展起来的电子节能产品。多年来，因极高的性能／价格比要求，困扰着众多的设计者。该镇流器满足国际电工委员会颁布的ＩＥＣ－９２９标准，使用安全可靠，不易损坏，其性能／价格比有所提高。其主要性能如下：１、启辉电路保证在开灯的一瞬...

光敏聚酰亚胺X射线光刻

光敏聚酰亚胺Ｘ射线光刻韩阶平，赵豪，胡一贯，阚娅（中科院微电子中心，合肥国家同步辐射实验室）光敏聚酰亚胺自问世以来就得到了人们的广泛重视，目前对光敏聚酷亚胺的光刻还大多只限于紫外光曝光的方式，还未见到有关光敏聚酰亚胺Ｘ射线光刻的报道。在本文中我们对合...

运用统计分析工具解决质量问题

一、引言 中科院微电子中心的半导体生产前工艺线在贯彻ISO9002质量保证体系中,建立了一套闭环的统计过程控制(SPC)系统,利用控制图、工艺能力指数等手段来监视、评价半导体生产过程的运行状况.同时,还积极运用统计分析工具(如柏拉图、线形曲线拟合、相关性等)对一些质量问题进行分析,找出问题的根源,并以此加强相关参数的SPC控制,以预防类似现象的再次出现.

中国科学院院士谈创新工程

江泽民总书记的重要批示和国家科教领导小组批准中国科学院开发知识创新工程试点工作的决定,在全院广大院士、青年科学家中产生了强烈反响。 叶笃正院士说,科教兴国已经说了多年,现在又强调国兴科教,并采取措施支持中科院的创新试点工作,大家感到非常兴奋。