中间尺度零件微细铣削加工工艺

论述了中间尺度零件微细铣削加工关键使能技术，然后介绍了自行研制的小型精密数控徽细铣削系统，其定位精度可达1．53μm．最后开展机床加工工艺实验研究，采用直径0．2μm的端铣刀进行平面微细铣削加工，获得表面粗糙度值为215nm采用直径0．2μm的球头铣刀进行徽直槽加工，尺寸误差在1～2μm以内；并进行了微螺旋槽、微齿轮及微半球典型结构件的微细铣削加工实验．分析结果表明系统已经具备了对中间尺度三维微小零件的微细铣削加工能力．