交流脉冲式磁控溅射靶极电源的研制

本文介绍了一种中频交流脉冲式磁控溅射靶极电源。该电源采用全桥逆变拓扑电路、PWM控制方式、输出功率叠加的方案,具有快速的过流检测与保护功能。在等离子体负载下进行了抑制弧光放电和空心阴极效应的实验,同低频直流脉冲电源相比,交流脉冲放电对其抑制是非常有效的。这表明该电源作为磁控溅射靶极电源是完全可行的,也为进一步探索交流磁控溅射新工艺提供了可靠的研究设备。