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中频DBD等离子体聚合马来酸酐薄膜的研究 被引量:5
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作者 汤文杰 陈强 +1 位作者 张跃飞 葛袁静 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期246-249,共4页
用马来酸酐乙醇溶液为单体,采用脉冲介质阻挡放电(DBD)合成聚马来酸酐薄膜,研究了放电的不同频率,聚合的区域对聚合薄膜性能的影响。通过对薄膜性能的表征:接触角、红外光谱、表面形貌、薄膜厚度,发现在频率为80 kHz,气压50 Pa能聚合表... 用马来酸酐乙醇溶液为单体,采用脉冲介质阻挡放电(DBD)合成聚马来酸酐薄膜,研究了放电的不同频率,聚合的区域对聚合薄膜性能的影响。通过对薄膜性能的表征:接触角、红外光谱、表面形貌、薄膜厚度,发现在频率为80 kHz,气压50 Pa能聚合表面连续致密的聚马来酸酐薄膜,薄膜的生长速率为8 nm/min。 展开更多
关键词 马来酸酐 中频dbd 性能
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