串联弯曲臂压电微电机机理初步研究

把两片压电双晶片 (PZTBimorph)串联在一起 ,构成串联弯曲臂。一端固定 ,另一端自由时 ,在相位差为π/ 2的一定频率的方波信号驱动下 ,弯曲臂的自由端将形成类似椭圆的运动轨迹。以串联弯曲臂为驱动元件 ,可用来驱动与其端面相接触的转子转动 ,构成串联弯曲臂式压电微电机。本文将对串联弯曲臂的驱动机理进行分析 ,在新的微小尺寸驱动机理研究的椭圆运动的基础上 ,研制了串联弯曲臂压电微电机的样机 ,并且对样机的性能参数进行测试 ,转速可以达到 110rpm ,输出转矩可以达到2 2 5 μNm .