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油扩散泵的现状及发展 被引量:5
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作者 李殿东 《真空》 CAS 北大核心 2002年第4期1-6,共6页
对国内外油扩散泵的主要性能及现状作了比较 ,初步分析出存在的差距 。
关键词 发展 油扩散泵 极限压力 抽气速率 临界前级压力 泵液返流率
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