高密度等离子体刻蚀系统中诊断模型的初步分析

高密度等离子体刻蚀已经广泛运用于深亚微米的微电子制造工艺中,并成为制约着产能及器件性能的关键步骤,因而有必要对等离子体刻蚀过程进行原位的实时监控.而利用传统的线性回归方法已经无法对包含有数目众多的变量的谱图数据进行实时分析了,必须采用新的数学模型,对原始数据进行压缩处理.本文结合实例讨论了目前在等离子体刻蚀系统中用到的诊断模型:主元素分析法以及神经网络法.

高精度圆柱直径大量程在线测量系统

高精度圆柱体是机械制造及各种高精度装备的核心器件,由于需求量大,其在线高精度检测是生产质量控制的关键环节。本文针对圆柱体直径高精度测量技术展开研究。设计V型测量平台,增大测量系统的量程,适应各种类型圆柱体测量。采用光学显微镜头、CCD摄像机和LED背景光源组件视觉系统,基于视觉检测技术实现高精度测量。实验数据显示,系统的重复测量精度在0.4μm之内,绝对测量精度在3μm之内,符合大部分高精度圆柱体的检测要求。

压缩弹簧同心度垂直度在线视觉检测系统

压缩弹簧的线性由同心度和垂直度两个指标来评价,其检测过程是压缩弹簧生产流程中的重要环节;设计了基于视觉测量原理的弹簧同心度垂直度在线测量系统,由面阵CCD摄像机、旋转台和压缩汽缸等组成,可以实现对大型压缩弹簧进行快速检测;详细介绍了系统设计及测量原理,标定和数据处理技术;经过实验验证,系统的同心度和垂直度测量精度分别达到0.05mm和0.04°;系统具有较高的测量精度和稳定性,可以实现大型压缩弹簧的高速在线测量。

组合投资的一个优化模型

在分析影响组合投资绩效因素的基础上,通过建立多目标组合投资的一个基本模型,利用主元素分析法将之转换为单目标的线性规划模型进行求解,从而解决多项目组合投资的优化问题.

基于语音信号的情感识别技术研究

利用基音特征参数和共振峰特征参数提取方法,分析研究了不同情感状态的语音信号,并应用模板匹配方法对语音信号进行识别,其原理和实现方法通俗易懂,便于理解,为语音信号的情感识别技术提供一定的判断指标。