圆形双振子式主动阀压电泵设计与性能实验

设计了一种圆形压电振子式主动阀压电泵。通过推导主动阀理论流量公式,分析了影响主动阀流量的主要因素,即阀口内半径和阀座宽度。通过对圆形压电振子式主动阀压电泵性能的实验得出了工作频率、泵腔压电振子驱动电压、输出端背压、主动阀驱动信号与泵腔压电振子驱动信号的相位差是主动阀压电泵的性能影响因素。设计的主动阀压电泵同时具备双向泵送流体的能力。实验结果表明:该泵在30 Hz、120 V的正弦信号驱动下,流量达到了123 mL/m in。