二氧化碳激光CVD沉积碳膜

运用工业二氧化碳激光在乙炔气氛中进行了碳的激光CVD实验，获得蓝紫色均匀膜，对沉积膜进行了光学显微镜及SEM形貌观察和X射线探针成份分析。