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GEM通讯协议在减薄设备中的应用
1
作者
周丹
谢贵久
+1 位作者
张文斌
刘宇光
《电子工业专用设备》
2024年第2期63-67,共5页
SECS/GEM标准是用于管理制造设备和工厂主机系统之间通信的半导体行业标准。通过介绍了SECS/GEM系统的构成,详细叙述了GEM的通讯状态模型,控制状态模型和设备状态模型,结合减薄的实际应用需求,列举了状态数据,事件发送和报警收集等功能...
SECS/GEM标准是用于管理制造设备和工厂主机系统之间通信的半导体行业标准。通过介绍了SECS/GEM系统的构成,详细叙述了GEM的通讯状态模型,控制状态模型和设备状态模型,结合减薄的实际应用需求,列举了状态数据,事件发送和报警收集等功能的实现;表明GEM通信标准在减薄设备中有很好应用。
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关键词
半导体设备通讯标准
设备状态模型
事件数据收集
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职称材料
题名
GEM通讯协议在减薄设备中的应用
1
作者
周丹
谢贵久
张文斌
刘宇光
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
北京中电科电子装备有限公司
出处
《电子工业专用设备》
2024年第2期63-67,共5页
文摘
SECS/GEM标准是用于管理制造设备和工厂主机系统之间通信的半导体行业标准。通过介绍了SECS/GEM系统的构成,详细叙述了GEM的通讯状态模型,控制状态模型和设备状态模型,结合减薄的实际应用需求,列举了状态数据,事件发送和报警收集等功能的实现;表明GEM通信标准在减薄设备中有很好应用。
关键词
半导体设备通讯标准
设备状态模型
事件数据收集
Keywords
Semiconductor equipment communication standards(SECS)
Device state model
Event data collection
分类号
TN605 [电子电信—电路与系统]
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题名
作者
出处
发文年
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1
GEM通讯协议在减薄设备中的应用
周丹
谢贵久
张文斌
刘宇光
《电子工业专用设备》
2024
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