GEM通讯协议在减薄设备中的应用

SECS/GEM标准是用于管理制造设备和工厂主机系统之间通信的半导体行业标准。通过介绍了SECS/GEM系统的构成,详细叙述了GEM的通讯状态模型,控制状态模型和设备状态模型,结合减薄的实际应用需求,列举了状态数据,事件发送和报警收集等功能的实现;表明GEM通信标准在减薄设备中有很好应用。