基于数字化二次曝光干涉的光学元件波前畸变测量

将傅立叶变换条纹分析方法与二次曝光全息干涉计量相结合 ,提出了数字化二次曝光干涉术 ,用于测量光学元件引入的波前畸变。文中给出了理论分析 ,模拟与光学实验结果证实提出的方法具有高精度、快速的波前测量特点 。