光子计数技术用于SEM二次电子信号检测的理论探讨

本文重点在分析比较PMT视频放大系统与PMT光子计数系统的噪声源,信噪比及探测灵敏度的基础上,就光子计数技术在扫描电镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)二次电子信号检测中的可能应用进行了初步的理论探讨。分析表明,SEM采用光子计数技术后,信号探测灵敏度可提高一个量级以上,从而在相同的电子枪发射亮度与既定的电子光学系统下,可获得更高的图象分辩率与清晰度。