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题名最新的二流体加湿降温喷头
被引量:2
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作者
陈仲昌
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出处
《毛纺科技》
CAS
北大核心
1995年第6期48-51,共4页
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文摘
向广大读者推荐一种全新的二流体加湿降温喷头。对二流体加湿降温喷头喷雾加湿的作用原理,优点作了扼要的陈述,并与摇头喷雾加湿、中央空调加湿作了对比;为毛纺、化纤、丝织、针织、棉纺等行业提供一种改进型国产加湿降温喷头,对改善企业的生产环境,提高产质量、节能降耗、降低运行费用、降低成本都具有重要意义。
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关键词
纺织厂
空气调节
二流体喷头
喷雾
加湿降温
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分类号
TS108.61
[轻工技术与工程—纺织工程]
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题名方形基片喷雾涂胶工艺的优化
被引量:1
- 2
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作者
陈威
王河
党景涛
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机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2021年第12期969-973,共5页
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文摘
通过实验优化了方形基片喷雾涂胶工艺。以AZ6130光刻胶作为研究对象,实验过程中在改变胶液体积流量和氮气压力条件下,采用二流体喷头对方形基片进行喷涂,使用显微镜和粗糙度轮廓仪观察并测量其表面形貌。实验结果表明:在不改变其他实验条件下,氮气压力为0.03 MPa时,随着胶液体积流量从0.6 mL/min增加至2.2 mL/min,胶膜厚度从5.3μm增加至19.0μm,膜厚均匀性从3.5%增加至22.6%;胶液体积流量为1.0 mL/min时,随着氮气压力从0.01 MPa增加至0.09 MPa,胶膜厚度从6.5μm降低至4.7μm,膜厚均匀性从3.6%增加至15.6%。通过对实验基片的观察、测量与分析,得到方形基片制备过程中最优喷涂工艺为胶液体积流量1.0 mL/min,氮气压力0.03 MPa。
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关键词
方形基片
喷涂工艺
二流体喷头
胶膜厚度
膜厚均匀性
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Keywords
square substrate
spray coating process
two fluid nozzle
glue film thickness
film thickness uniformity
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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