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最新的二流体加湿降温喷头 被引量:2
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作者 陈仲昌 《毛纺科技》 CAS 北大核心 1995年第6期48-51,共4页
向广大读者推荐一种全新的二流体加湿降温喷头。对二流体加湿降温喷头喷雾加湿的作用原理,优点作了扼要的陈述,并与摇头喷雾加湿、中央空调加湿作了对比;为毛纺、化纤、丝织、针织、棉纺等行业提供一种改进型国产加湿降温喷头,对改... 向广大读者推荐一种全新的二流体加湿降温喷头。对二流体加湿降温喷头喷雾加湿的作用原理,优点作了扼要的陈述,并与摇头喷雾加湿、中央空调加湿作了对比;为毛纺、化纤、丝织、针织、棉纺等行业提供一种改进型国产加湿降温喷头,对改善企业的生产环境,提高产质量、节能降耗、降低运行费用、降低成本都具有重要意义。 展开更多
关键词 纺织厂 空气调节 二流体喷头 喷雾 加湿降温
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方形基片喷雾涂胶工艺的优化 被引量:1
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作者 陈威 王河 党景涛 《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第12期969-973,共5页
通过实验优化了方形基片喷雾涂胶工艺。以AZ6130光刻胶作为研究对象,实验过程中在改变胶液体积流量和氮气压力条件下,采用二流体喷头对方形基片进行喷涂,使用显微镜和粗糙度轮廓仪观察并测量其表面形貌。实验结果表明:在不改变其他实验... 通过实验优化了方形基片喷雾涂胶工艺。以AZ6130光刻胶作为研究对象,实验过程中在改变胶液体积流量和氮气压力条件下,采用二流体喷头对方形基片进行喷涂,使用显微镜和粗糙度轮廓仪观察并测量其表面形貌。实验结果表明:在不改变其他实验条件下,氮气压力为0.03 MPa时,随着胶液体积流量从0.6 mL/min增加至2.2 mL/min,胶膜厚度从5.3μm增加至19.0μm,膜厚均匀性从3.5%增加至22.6%;胶液体积流量为1.0 mL/min时,随着氮气压力从0.01 MPa增加至0.09 MPa,胶膜厚度从6.5μm降低至4.7μm,膜厚均匀性从3.6%增加至15.6%。通过对实验基片的观察、测量与分析,得到方形基片制备过程中最优喷涂工艺为胶液体积流量1.0 mL/min,氮气压力0.03 MPa。 展开更多
关键词 方形基片 喷涂工艺 二流体喷头 胶膜厚度 膜厚均匀性
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