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题名二维微透镜列阵制备的新方法及技术研究
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作者
杨国光
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机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
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出处
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
1997年第A10期72-72,共1页
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基金
国家自然科学基金项目编号:69287001
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文摘
1.概述二维微透镜列阵是光学前沿学科——微光学的关键器件。制备微透镜列阵的传统方法是离子交换形成梯度折射率(GRIN)法和光敏玻璃热成形法(光解法)以及二元光学制备微透镜法(二元Fresnel法),近几年又提出光刻胶热熔法(光熔法)。本项目是提出一种新的光刻热熔法,用于制备高精度,低成本的微透镜列阵,从而克服上述方法的不足。我们已用这种光刻热熔法制成20×20,相对口径F/D=2的微透镜列阵,微透镜单元口径为90μm,单元之间中心距为100μm,测试结果表明本方法制备的微透镜列阵,具有如下完善的性能: (1)面形误差<1.3λ(λ=0.63μm);
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关键词
微光学
二维微透镜列阵
光学仪器
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分类号
TH74
[机械工程—光学工程]
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