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题名振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿
被引量:18
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作者
万志
杜温锡
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所电子印刷工程技术中心
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出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2000年第2期115-119,共5页
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文摘
主要讨论了物镜前振镜二维扫描光学系统中图形畸变的产生原因 ,分析比较了图形畸变与振镜布放、像面坐标系方位及 fθ特性误差等的关系 ,并结合视场大小为 75× 75的实际物镜 fθ特性误差的最小二乘拟合 ,给出了校正图形畸变的准确关系式。另外 ,在矢量扫描方式中光斑移动速度的非线性会导致扫描图形各部分曝光不均匀 ,文中也给出了对扫描图形曝光量加以补偿的方法和公式。
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关键词
曝光量补偿
图形畸变校正
振镜二维扫描
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Keywords
galvanometer scanning
graphic distortion
compensation of exposure
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分类号
TH174
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名二维振镜扫描系统调向误差分析
被引量:10
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作者
陈志斌
范磊
肖文健
秦梦泽
肖程
张冬晓
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机构
中国人民解放军
陆军工程大学石家庄校区电子与光学工程系
中国洛阳电子装备试验中心
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第2期180-186,共7页
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基金
国防科技项目基金
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文摘
对比分析现有光束扫描系统的优劣,提出采用二维振镜扫描系统作为多光谱集成靶标的光轴调向装置,光轴调向装置的调向精度影响多光谱集成靶标的校准精度。通过对二维振镜扫描系统调向误差进行分析,建立二维振镜扫描系统调向模型,并进行了二维振镜扫描系统调向误差测量实验。结果表明:二维振镜扫描系统的方位角误差和俯仰角误差小于8″,调向角误差小于9″,调向误差小于10″,能够满足多光谱集成靶标光轴调向精度要求。
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关键词
光轴调向
二维振镜扫描系统
误差分析
多光谱集成靶标
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Keywords
optical axis alignment
2D galvanometer scanning system
error analysis
multispectral integrated target
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分类号
TN203
[电子电信—物理电子学]
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题名振镜扫描激光清除电网异物数值仿真研究
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作者
刘其峰
刘霞
刘鸿
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机构
西安工程大学机电工程学院
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出处
《现代电子技术》
2023年第20期147-152,共6页
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文摘
针对振镜激光清除高压输电线异物二维扫描技术扫描不均匀的问题,结合振镜的扫描原理,通过简单的扫描理论推导和Matlab仿真分析,利用COMSOL有限元对激光扫描轨迹进行仿真模拟。设计X-Y检流计振镜扫描进行区域全覆盖扫描,得出X-Y检流计振镜扫描存在矩形失真特性,故通过三角函数变换的思路进行补偿修正,修正后的扫描轨迹效果较好,由上到下逐行扫描,且扫描较为完整,不存在漏扫。为实现振镜式激光光斑区域全覆盖扫描,进行扫描路径设计理论推导和仿真。结果表明:随着扫描线距的增加,漏扫率逐渐增大,重叠率逐渐减小;当扫描线距与光斑半径相等时,光斑恰好没有重叠区域,重叠率为0,漏扫率为27.37%。通过COMSOL有限元对光斑轨迹扫描进行仿真,进一步说明了所提扫描方法的可行性和正确性,在振镜激光扫描系统中有着重要的参考价值。
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关键词
振镜扫描
激光
电网异物
X-Y检流计振镜二维扫描
扫描轨迹
COMSOL有限元
仿真模拟
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Keywords
galvanometer scanning
laser
power grid foreign body
X⁃Y current detector galvanometer two⁃dimensional scanning
scanning trajectory
COMSOL finite element
simulation
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分类号
TN249-34
[电子电信—物理电子学]
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题名二维振镜调谐TEA CO_2激光器
被引量:5
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作者
王元虎
曲彦臣
赵卫疆
任德明
胡孝勇
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机构
哈尔滨工业大学光电子技术研究所
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期359-362,共4页
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基金
哈尔滨工业大学优秀青年教师培养计划(HITQNJS.2006.025)
哈尔滨工业大学优秀团队支持计划资助项目
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文摘
报道一种快速调谐TEA CO2激光器。该激光器采取紧凑式Ernst电极,火花阵列放电紫外预电离方式,采用二维振镜扫描衍射光栅的方案实现了激光的调谐输出。激光器可输出谱线75支,其中55支谱线输出能量超过1 J,当激光器高重复频率运转时,10P(20)谱线基模能量大于300 mJ,脉冲宽度约为70 ns。这种激光器可以在10 ms内实现9.2~10.8μm范围内任意两条谱线的调谐输出。
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关键词
激光器
TEACO2激光器
二维扫描振镜
快调谐
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Keywords
lasers
TEA CO2 laser
two-dimensional scanning mirrors
rapid tunable
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分类号
TN248.22
[电子电信—物理电子学]
TN752
[电子电信—电路与系统]
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