批次过程控制—回顾与展望

批次过程是一类重要的化工过程.因其本身的灵活性及高效性,被广泛应用于半导体制造、塑料加工、生物制药等领域.针对批次过程控制算法的研究也得到了大批学者的关注.在近三十年中,批次过程控制理论得到了长足的发展.但由于过程本身复杂的动态特性,以及对控制精度要求的提高,现有的理论和方法仍面临着挑战.本文从批次过程的特性出发,分析了算法设计的难点,对几种重要的控制算法进行总结分析,同时讨论了未来可能的发展方向.