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用STM对高速磨削表面微观形貌的研究 被引量：6
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作者 梁洁 李尚平 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2001年第3期7-9,共3页
本文运用扫描隧道显微镜 (STM)对微观三维表面形貌进行了研究 ,与常规方法对高速磨削表面粗糙度的影响进行了比较 。
关键词 扫描隧道显微镜 高速磨削 二维表面参数
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