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非离子型产酸剂——N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯的合成与性能研究
被引量:
3
1
作者
李平
王霞
+1 位作者
刘建国
李萍
《感光科学与光化学》
EI
CAS
CSCD
2007年第3期198-203,共6页
以邻苯二甲酸酐、盐酸羟胺和对甲苯磺酰氯为起始原料,合成了非离子型光致产酸剂——N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯,对其进行了红外、核磁共振和紫外表征,测定了其化学结构、溶解性和紫外吸收等性能.结果表明,这种非离子型产酸剂较...
以邻苯二甲酸酐、盐酸羟胺和对甲苯磺酰氯为起始原料,合成了非离子型光致产酸剂——N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯,对其进行了红外、核磁共振和紫外表征,测定了其化学结构、溶解性和紫外吸收等性能.结果表明,这种非离子型产酸剂较离子型产酸剂在常用溶剂中有非常良好的溶解性,并在248 nm处有好的透明性,可用于深紫外光刻工艺体系.
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关键词
产酸剂
光致抗蚀剂
N-
羟基
邻
苯
二
甲酰亚胺对
甲苯
磺酸酯
下载PDF
职称材料
5,6-二羟基吲哚
被引量:
2
2
作者
唐巧虹
《精细与专用化学品》
CAS
2001年第3期21-22,共2页
5,6-二羟基吲哚是黑素原的重要中间体,也是一些氨基酸、生物碱、色胺的中间体,它对角蛋白纤维的染色有较好的作用效果,目前已在一些洗化用品中被用来取代苯胺、苯酚类化合物。以3,4-二羟基苯甲醛为原料及以4,5-二苄氧基苯乙腈为原料的...
5,6-二羟基吲哚是黑素原的重要中间体,也是一些氨基酸、生物碱、色胺的中间体,它对角蛋白纤维的染色有较好的作用效果,目前已在一些洗化用品中被用来取代苯胺、苯酚类化合物。以3,4-二羟基苯甲醛为原料及以4,5-二苄氧基苯乙腈为原料的两种合成路线是较经济、合理的方法。
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关键词
二
羟基
吲哚
中间体
合成
黑素原
二羟基苯甲苯
二
苄氧基
苯
乙腈
原文传递
题名
非离子型产酸剂——N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯的合成与性能研究
被引量:
3
1
作者
李平
王霞
刘建国
李萍
机构
华中科技大学化学与化工系
出处
《感光科学与光化学》
EI
CAS
CSCD
2007年第3期198-203,共6页
文摘
以邻苯二甲酸酐、盐酸羟胺和对甲苯磺酰氯为起始原料,合成了非离子型光致产酸剂——N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯,对其进行了红外、核磁共振和紫外表征,测定了其化学结构、溶解性和紫外吸收等性能.结果表明,这种非离子型产酸剂较离子型产酸剂在常用溶剂中有非常良好的溶解性,并在248 nm处有好的透明性,可用于深紫外光刻工艺体系.
关键词
产酸剂
光致抗蚀剂
N-
羟基
邻
苯
二
甲酰亚胺对
甲苯
磺酸酯
Keywords
photoacid generator
photoresist
phthalimidotosylate
分类号
TQ227 [化学工程—有机化工]
下载PDF
职称材料
题名
5,6-二羟基吲哚
被引量:
2
2
作者
唐巧虹
机构
江苏扬农化工集团有限公司
出处
《精细与专用化学品》
CAS
2001年第3期21-22,共2页
文摘
5,6-二羟基吲哚是黑素原的重要中间体,也是一些氨基酸、生物碱、色胺的中间体,它对角蛋白纤维的染色有较好的作用效果,目前已在一些洗化用品中被用来取代苯胺、苯酚类化合物。以3,4-二羟基苯甲醛为原料及以4,5-二苄氧基苯乙腈为原料的两种合成路线是较经济、合理的方法。
关键词
二
羟基
吲哚
中间体
合成
黑素原
二羟基苯甲苯
二
苄氧基
苯
乙腈
分类号
TQ25 [化学工程—有机化工]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非离子型产酸剂——N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯的合成与性能研究
李平
王霞
刘建国
李萍
《感光科学与光化学》
EI
CAS
CSCD
2007
3
下载PDF
职称材料
2
5,6-二羟基吲哚
唐巧虹
《精细与专用化学品》
CAS
2001
2
原文传递
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引证文献
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