一种快速的三维VLSI互连电容提取方法:虚拟多介质方法

本文提出一种基于直接边界元方法的虚拟多介质 (Quasi MultipleMedium ,QMM)加速方法 ,并将它应用于三维VLSI多介质互连电容的计算中 .QMM方法将三维互连电容器中的单层介质看成由多个虚拟介质组成 ,从而大大减少了系数矩阵中的非零元数目 ,最终使计算时间和存储空间显著减少 .通过比较QMM算法与非QMM算法 ,以及商业软件Raphael对实际三维互连结构的计算 ,结果表明QMM算法在保持计算准确性的同时 ,可使电容提取的效率得到显著提高 .