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a—Si TFT复合栅绝缘层用阳极氧化Ta_2O_5的研究
被引量:
2
1
作者
熊绍珍
张建军
+6 位作者
周祯华
孟志国
戴永平
谷纯芝
马京涛
丁世斌
赵庚申
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
1994年第3期257-262,共6页
研究了Ta的阳极氧化反应动力学用自制装置有效地控制用于非晶硅薄膜晶体管(a─SiTFT)的复合栅绝缘层Ta2O5厚度,膜质均匀、性能优良,使复合栅绝缘层a─SiTFT的开启电压(VT)控制在3─5V之间,开关电流比(...
研究了Ta的阳极氧化反应动力学用自制装置有效地控制用于非晶硅薄膜晶体管(a─SiTFT)的复合栅绝缘层Ta2O5厚度,膜质均匀、性能优良,使复合栅绝缘层a─SiTFT的开启电压(VT)控制在3─5V之间,开关电流比(I(on)/I(off))大于107,场效应迁移率为0.86cm2/V·S.
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关键词
阳极
氧化
五氧化二钛
薄膜晶体管
下载PDF
职称材料
题名
a—Si TFT复合栅绝缘层用阳极氧化Ta_2O_5的研究
被引量:
2
1
作者
熊绍珍
张建军
周祯华
孟志国
戴永平
谷纯芝
马京涛
丁世斌
赵庚申
机构
南开大学
出处
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
1994年第3期257-262,共6页
文摘
研究了Ta的阳极氧化反应动力学用自制装置有效地控制用于非晶硅薄膜晶体管(a─SiTFT)的复合栅绝缘层Ta2O5厚度,膜质均匀、性能优良,使复合栅绝缘层a─SiTFT的开启电压(VT)控制在3─5V之间,开关电流比(I(on)/I(off))大于107,场效应迁移率为0.86cm2/V·S.
关键词
阳极
氧化
五氧化二钛
薄膜晶体管
Keywords
a-Si TFT, Double-layer gate insulator, Redundance technology, AM-LCD
分类号
TN321.5 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
a—Si TFT复合栅绝缘层用阳极氧化Ta_2O_5的研究
熊绍珍
张建军
周祯华
孟志国
戴永平
谷纯芝
马京涛
丁世斌
赵庚申
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
1994
2
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职称材料
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参考文献
引证文献
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